圖1.11所示為衍射測(cè)量的基本原理。準(zhǔn)直的平行激光束照射被測(cè)物體與固體參考物體之間所形成的間隙，D0994CD當(dāng)激光束通過間隙后，在遠(yuǎn)場(chǎng)接收屏上形 激光成夫瑯和費(fèi)衍射條紋。設(shè)激光波長(zhǎng)為力，激光通過  一的間隙是寬度為6的單縫，當(dāng)觀察屏距離時(shí)，所得到的衍射條紋光強(qiáng)分布為H。

   該式即為測(cè)量狹縫間距的常用公式，Xn為可測(cè)定量，6為被測(cè)量。

   如果用光電轉(zhuǎn)換元件在衍射場(chǎng)的確定位置監(jiān)視條紋的穆動(dòng)，就像對(duì)干涉條紋計(jì)數(shù)一樣，就可以利用式(1.10)測(cè)量尺寸6的變化量或位移。

   因此，應(yīng)用這種方法可以進(jìn)行大尺寸的比較測(cè)量、工件形狀的輪廓測(cè)量及位移應(yīng)變測(cè)量等。