圖1.11所示為衍射測量的基本原理。準直的平行激光束照射被測物體與固體參考物體之間所形成的間隙，D0994CD當激光束通過間隙后，在遠場接收屏上形 激光成夫瑯和費衍射條紋。設(shè)激光波長為力，激光通過  一的間隙是寬度為6的單縫，當觀察屏距離時，所得到的衍射條紋光強分布為H。

   該式即為測量狹縫間距的常用公式，Xn為可測定量，6為被測量。

   如果用光電轉(zhuǎn)換元件在衍射場的確定位置監(jiān)視條紋的穆動，就像對干涉條紋計數(shù)一樣，就可以利用式(1.10)測量尺寸6的變化量或位移。

   因此，應(yīng)用這種方法可以進行大尺寸的比較測量、工件形狀的輪廓測量及位移應(yīng)變測量等。