光導(dǎo)纖維傳感器的出現(xiàn)，在傳遞圖像和檢測技術(shù)方面又開拓出一片新的天地，為光ADS7828EB/250電檢測技術(shù)小型化等開辟了廣闊前景。光纖檢測技術(shù)可以解決傳統(tǒng)檢測技術(shù)難以解決或無法解決的許多問題，如在噪聲、干擾、污染嚴(yán)重的工業(yè)過程中檢測，或者在海洋、反應(yīng)堆中，自動(dòng)檢測設(shè)備或智能機(jī)器人必然會(huì)遇到高壓、高溫、輻射、化學(xué)腐蝕等極端困難的條件，光纖檢測技術(shù)則具有獨(dú)特的優(yōu)越性，而且具有高精度、高速度、非接觸測量等特點(diǎn)。由于光信息傳輸?shù)莫?dú)特優(yōu)點(diǎn)，光纖檢測智能化將比其他檢測技術(shù)更有吸引力，特別是小型集成光學(xué)元件與微計(jì)算機(jī)結(jié)合的智能化全光纖檢測系統(tǒng)，其前途是無量的。此外，光柵和莫爾條紋的應(yīng)

用，對光電檢洌的數(shù)字化提供了有利條件。

   由上所述可以看出，新的光源或新的光電器件的發(fā)明，會(huì)大大推動(dòng)光電檢測技術(shù)的發(fā)展。

   近幾十年來工程領(lǐng)域的加工精度已達(dá)到0.1 Wn甚至0.01 pun的水平，它對測量技術(shù)提出了更高的要求，迫切需要新的手段，因此先后出現(xiàn)了各種納米測量顯微鏡，如1982年問世的隧道顯微鏡，它用測量電荷密度的方法測量分子和原子級(jí)的微小尺寸，但只能用于測量導(dǎo)體表面。1986年研制成功的原子力顯微鏡，用測量觸針與被測器件之間原子力和離子力的方法來測量微小尺寸，因此可用于導(dǎo)體或非導(dǎo)體的測量，其缺點(diǎn)是，針尖與樣品接觸易使樣品表面劃傷。根據(jù)原子力顯微鏡的思路，利用被測表面的不同物理性質(zhì)對受迫振動(dòng)懸臂梁的影響，通過測量其共振頻率的變化來測量被測表面，相繼開發(fā)出激光力顯微鏡、靜電力顯微鏡等。這些儀器都可以達(dá)到納米甚至亞納米級(jí)的分辨率。它們的分辨率大都是用驅(qū)動(dòng)探針的壓電陶瓷的電壓與位移關(guān)系得到的，但是壓電陶瓷的滯后特性和蠕變使測量結(jié)果并不可信。為了準(zhǔn)確測出這些納米級(jí)測量顯微鏡的精度，還必須溯源到光的波長上，因此迫切需要研制精度達(dá)到納米和亞納米級(jí)的干涉儀，來實(shí)現(xiàn)納米尺度的測量和標(biāo)定，因而又相繼出現(xiàn)了精度可達(dá)0.1 nm昀激光外差干涉儀和精度可達(dá)0.01 nm的X光干涉儀。在納米和亞納米級(jí)

精度的光電測量系統(tǒng)中，為了保證系統(tǒng)的穩(wěn)定可靠，對環(huán)境的要求是很高的，環(huán)境溫度不穩(wěn)定、振動(dòng)、光源波動(dòng)的影響等，都會(huì)使納米尺度的測量精度受到影響。因此系統(tǒng)中機(jī)械傳動(dòng)或光學(xué)調(diào)節(jié)往往需要閉環(huán)控制，而機(jī)械支撐采用無間隙無摩擦的柔性鉸鏈?zhǔn)且粋�(gè)很好的辦法。