光電檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展與新型光源、新型光電器件、微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)EP1C4F400C7N技術(shù)的發(fā)展密不可分，自從1960年世界上第一臺(tái)紅寶石激光器與氦一氖激光器問世以來，由于激光光源的單色性、方向性、相干性和穩(wěn)定性極好，人們?cè)诤芏虝r(shí)間內(nèi)就研制出各種激光干涉儀、激光測(cè)距儀、激光準(zhǔn)直儀、激光跟蹤儀和激光雷達(dá)等，大大推動(dòng)了光電測(cè)試技術(shù)的發(fā)展。

   1970年貝爾實(shí)驗(yàn)室研制出第一個(gè)固體攝像器件(CCD)，由于它的小巧、堅(jiān)固、低功耗、失真小、工作電壓低，重量輕、抗振性好、動(dòng)態(tài)范圍大和光譜范圍寬等特點(diǎn)，使得視覺檢測(cè)進(jìn)入一個(gè)新的階段，它不僅可以完成人的視覺觸及區(qū)域的圖像測(cè)量，而且對(duì)于人眼無法涉及的紅外和紫外波段的圖像測(cè)量也變成了現(xiàn)實(shí)，從而把光學(xué)測(cè)量的主觀性（靠人眼瞄準(zhǔn)與測(cè)量）發(fā)展成客觀的光電圖像測(cè)量。

   光導(dǎo)纖維自從20世紀(jì)60年代問世以來，在傳遞圖像和檢測(cè)技術(shù)方面又發(fā)展出一個(gè)新的天地，光纖通信已經(jīng)風(fēng)靡全球，而光纖傳感幾乎可以測(cè)量各種物理量，尤其在一些強(qiáng)電磁干擾、危及人生命安全的場(chǎng)合可以安全地工作，而且具有高精度、高逮度、非接觸測(cè)量等特點(diǎn)�？梢�說一個(gè)新的光源、一個(gè)新的光電器件的發(fā)明都大大推動(dòng)了光電檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展。

   近十幾年來工程領(lǐng)域的加工精度已達(dá)到0.1斗m，甚至0. 01 ym的水平。它對(duì)測(cè)量技術(shù)提出了更高的要求，迫切需要開拓新的測(cè)量手段，因此先后出現(xiàn)了各種納米測(cè)量顯微鏡，如隧道顯微鏡的問世、原子顯微鏡的研制成功。為了準(zhǔn)確測(cè)出這些納米尺度測(cè)量顯微鏡的精度，還必須溯源到光的波長(zhǎng)上，因此，迫切需要研制精度達(dá)到納米和亞納米級(jí)的干涉儀來實(shí)現(xiàn)納米尺度的測(cè)量和標(biāo)定，因而，又相繼出現(xiàn)了精度可達(dá)到0. Inm的激光外差干涉儀和精度可達(dá)0.01nm的X光干涉儀。

   微電子技術(shù)的問世，不僅使計(jì)算機(jī)技術(shù)突飛猛進(jìn)，也使光電檢測(cè)技術(shù)有了更為廣闊的應(yīng)用空間。當(dāng)前人們?cè)谏�、醫(yī)學(xué)、航天、靈巧武器、數(shù)字通信等許多領(lǐng)域越來越多地要求微系統(tǒng)，因此微機(jī)電系統(tǒng)成為當(dāng)前研究的一個(gè)熱點(diǎn)。而微機(jī)電系統(tǒng)要求有微型測(cè)量裝置，這樣，微型光、機(jī)、電檢測(cè)系統(tǒng)也就毫無疑問地成為重要研究方向。