在泰曼一格林型干涉儀中，使半導體激光器注入電流隨時間成比例變化， DC001NGC4把f= Kni和式(10.40)代入式(10.52)，得到相干光的調制相位.

   將式(10.55)代入式(10.53)得

   /s(t) =/o[l+b-cos(tp+Acp+KLt)]    (10.56)

   從式( 10.56)可以看出，輸出光電流按余弦艦律變化。調制信號的頻率為五=鼉等k口，若檢測到相干平面各點處信號的初始相位，即可確定波面的相位分布。

   圖10.22給出了利用線性掃描調制法的干涉儀示意圖。采用三角波的注入電流，使干涉條紋本身進行周期性的掃描運動。伴隨條紋的移動，面陣CCD攝像裝置各個像素上的光電流輸出也周期性地滿足式( 10.53)，波形的折返點表示被測點上的初始相位p+Ap。為了測定p+Acp值，可以利用如圖10.22(b)所示的四段積分法（或稱四斗式）。該方法是計算，在Acp (t)= KLt分別處于0～兀／2、兀／2～兀、�！�3兀／2、3兀／2～2兀的4個區(qū)間內時，檢器輸出電流的積分值，然后即可計算出被測相位值.由于半導體激光器直接頻率調制可達l02M[Hz數(shù)量級，所以測量時間可以很短(50 ms)，有利于進行高速測量，可避免溫度漂移和振動的影響。它的測量精度可達旯／50。

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