此測(cè)量系統(tǒng)具有一千萬(wàn)倍以上的放大能力，即1 nm的變化可以被顯示為10 mm，因此對(duì)這種測(cè)量系統(tǒng)來(lái)說，AAT3242ITP-WI-T1考慮其分辨率是更為突出的問題，是能可靠反映的最小變化量。對(duì)此種系統(tǒng)限制分辨率的不可靠因素，就是系統(tǒng)本身工作時(shí)的噪聲，小于噪聲的分辨率是無(wú)意義的。

   對(duì)于納米級(jí)或亞納米級(jí)的高分辨率儀器來(lái)說，用測(cè)定的方法來(lái)確定其分辨率是很困難的。例如，隧道顯微鏡和原子力顯微鏡其橫向分辨率可以通過測(cè)量經(jīng)處理的碳原子結(jié)構(gòu)來(lái)認(rèn)定，在高度方向上則還要借助光柵來(lái)標(biāo)定范圍。不過對(duì)幾乎所有高分辨率儀器來(lái)說，除了其工作原理外，最后限制分辨率提高的是儀器本身的噪聲。影響其垂直分辨率的主要因素就是從被測(cè)表面和儀器內(nèi)部光學(xué)件界面反射回光，以及激光管噪等。一般認(rèn)為此類儀器的分辨率應(yīng)為它在實(shí)際工作條件下噪聲的1.5～2倍。

   本儀器噪聲的測(cè)量，足在儀器對(duì)焦準(zhǔn)確、工作臺(tái)和試件（平面鏡）保持不動(dòng)、開動(dòng)掃描驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)但不接上離合器（有振動(dòng)、無(wú)掃描）時(shí)進(jìn)行的，圖11.17所示是實(shí)測(cè)結(jié)果。儀器噪聲的大小用粗糙度參數(shù)Ra、Rz來(lái)表示，計(jì)算結(jié)果顯示于圖形上。

   可以看出，其Ra<0.05 nm，尺：<0.4 nm，按照常規(guī)，分辨率按它在實(shí)際工作條件下噪聲的1.5倍計(jì)算，實(shí)際分辨率Ra可達(dá)到O.l nm，R：可達(dá)到0.5 nm。