重復(fù)性是指在同一工作條件下，輸入AAT3510IGV-2.93-C量按同一方向做全量程連續(xù)多次變動時，所得特性曲線間一致程度的指標(biāo)。各條特性曲線越靠近，重復(fù)性越好。重復(fù)性誤差反映的是校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的離散程度，屬于隨機誤差，因此應(yīng)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)偏差計算，即表11.1是對同一組刻痕做10組測試的數(shù)據(jù)。實驗過程為沿X方向掃描，每次掃描后退回，再沿同方向掃描。該實驗中，物鏡采用焦距／= 10 mm、直徑函=6.3 mm的雙膠消色差透鏡，該透鏡鍍632.8 nm增透膜，剩余反射率遠小于1%，其數(shù)值孔徑約為0.15。這里用粗

糙度參數(shù)Ra來計算系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差。

   表11.1系統(tǒng)的隨機不確定度試驗

   10組試驗結(jié)果如表11.1所示，其隨機不確定度盯- 0.60 nm。該結(jié)果與理論計算得到的盯= 0.42 nm基本吻合，其值稍微偏大，原因主要是激光器中的噪聲無法定量表示電氣噪聲以及一些其他未考慮因素的影響。可見本測量系統(tǒng)在動態(tài)測量時依然具有很高的抗干擾能力，與靜止測量時沒有差別。從上面對實驗結(jié)果的分析可以看出，針對本系統(tǒng)進行的誤差分析與實際輪廓儀是吻合的，能夠應(yīng)用到本輪廓儀的誤差分析中來。