橫向分辨率測試
發(fā)布時間:2016/2/17 20:54:11 訪問次數(shù):981
高分辨率輪廓測量的橫向分辨率是非常重要的，對于間距很小的溝槽和實起，橫向AAT3510IGV-2.93-C-C-T1分辨率越高，越能顯示出其真實的形貌；若橫向分辨率小，則只能測量出一種平均效應。
為了評定此系統(tǒng)的橫向分辨率，采用數(shù)值孔徑為0.95的顯微物鏡，其橫向分辨率可高達0.5 pm，圖11.18所示為用顯微物鏡實驗時的橫向分辨率測試圖，選用在玻璃基底上鍍有鉻線(寬度為2 ym，高度大約為70 nm)的試件來測試。圖11.18 (a)所示是用掃描電子顯微鏡測定線寬，圖11.18(b)所示是用本測量系統(tǒng)測量�？梢钥闯�，儀器的橫向分辨率高于0.5 ym。
(a)掃描電子顯微鏡的2ym線寬結(jié)果照片 (b)本測量系統(tǒng)測量的2ym線寬的輪廓
圖11.18橫向分辨率測試圖
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高分辨率輪廓測量的橫向分辨率是非常重要的，對于間距很小的溝槽和實起，橫向AAT3510IGV-2.93-C-C-T1分辨率越高，越能顯示出其真實的形貌；若橫向分辨率小，則只能測量出一種平均效應。
為了評定此系統(tǒng)的橫向分辨率，采用數(shù)值孔徑為0.95的顯微物鏡，其橫向分辨率可高達0.5 pm，圖11.18所示為用顯微物鏡實驗時的橫向分辨率測試圖，選用在玻璃基底上鍍有鉻線(寬度為2 ym，高度大約為70 nm)的試件來測試。圖11.18 (a)所示是用掃描電子顯微鏡測定線寬，圖11.18(b)所示是用本測量系統(tǒng)測量�？梢钥闯�，儀器的橫向分辨率高于0.5 ym。
(a)掃描電子顯微鏡的2ym線寬結(jié)果照片 (b)本測量系統(tǒng)測量的2ym線寬的輪廓
圖11.18橫向分辨率測試圖
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