激光輪廓測(cè)控系統(tǒng)功能齊全，具有高數(shù)據(jù)處理和輸出能力，操作直觀簡(jiǎn)便，測(cè)量精度AAT3517IGV-2.8-B-C-T1高，重復(fù)性好。它的分辨率達(dá)到亞納米級(jí)；與其他輪廓儀相比，橫向分辨率更是突出，在同類(lèi)儀器中是最高的，有良好的通用性和性?xún)r(jià)比。此系統(tǒng)的兩干涉臂是同軸昀，幾乎不受機(jī)械振動(dòng)和空氣擾動(dòng)的影響，能解決具有高度光潔表面、被測(cè)對(duì)象無(wú)損傷、無(wú)污染的測(cè)量問(wèn)題。由于抗干擾性能優(yōu)越，可以發(fā)展成在線(xiàn)檢測(cè)設(shè)備。對(duì)各種不同試件，包括用玻璃和硅晶片制成的輪廓儀，校對(duì)標(biāo)準(zhǔn)等的測(cè)量結(jié)果都證實(shí)了它的優(yōu)越性。