用觸針式輪廓儀和同軸式高分辨率激光干涉輪廓儀，在相同的掃描速度下測量前述的標(biāo)準(zhǔn)校對樣塊。 AAT3515IGV-4.38-C-T1測量結(jié)果如圖11.19所示，其中11.19 (a)所示是激光輪廓儀所測結(jié)果，11.19 (b)所示是Taly-6觸針式輪廓儀所測結(jié)果，很明顯，激光輪廓儀的測量形狀誤差更小，且測量結(jié)果細節(jié)更清楚。

   圖11.19激光干涉輪廓儀與Taly-6觸針式輪廓儀的測試結(jié)果比較

   本測量系統(tǒng)也可通過掃描方式形成三維地形圖，圖11.20所示為本系統(tǒng)的三維測量圖。圖11.21所示為本輪廓儀采用軟件濾波后的測量結(jié)果，軟件濾波后橫向分辨率會降低。

   圖11.20三維測量圖