如圖12.24所示，由激光器發(fā)射出來的激光由透鏡A先擴展成直徑較粗的光柱，經(jīng)激GL830-128發(fā)窄帶干涉濾光片B，過濾除去其他波長的光，這樣可大大降低檢測的背景，再由透鏡C重新聚焦后，由二色分光鏡D反射至物鏡組E，物鏡組E將激光聚焦生物芯片上(光斑直徑小于5 ym);標(biāo)記有熒光染料的靶分子在激光激發(fā)下產(chǎn)生的熒光由物鏡E捕獲后變成平行光，再通過二色分光鏡D、反射鏡F使發(fā)射的熒光進入到干涉濾光片組G，以濾除發(fā)射熒光以外的光，再由透鏡H聚焦在共聚蕉光闌I上，通過光闌的光最后由光電倍增管接收變成電信號，經(jīng)放大、濾波、A/D轉(zhuǎn)換等處理后送入計算機，即完成了對一點的測量，再由計算機控制二維掃描工件臺，就可實現(xiàn)對整個芯片的掃讀。由于采用了共聚焦光路，且光闌孔的孔徑設(shè)計得較小，使正確聚焦在生物芯片表面所產(chǎn)生的熒光能由第二個透鏡組聚焦通過光闌小孔，相反，芯片下表面或芯片上表面灰塵粒以及雜散光不能聚焦到光闌小孔而被擋住，這樣可大大減少由于片基和灰塵產(chǎn)生的背景熒光。

   圖12.24激光共聚焦測量光路原理圖