微觀技術(shù)在公眾的感覺(jué)中意味著“小”，在科學(xué)中是指十億分之一。因此，特征圖AD8185ARU形尺寸和柵條的寬度以微米( micrometer)來(lái)表示，如0.018 ym。納米(1×10』m)正在被廣泛使用，I：述的柵條寬度則力180 nm（見(jiàn)圖1.17）。1叫。

   在半導(dǎo)體協(xié)會(huì)的國(guó)際技術(shù)發(fā)展路線(xiàn)圖( ITRS)中，對(duì)半導(dǎo)體通向未來(lái)納米的道路做了描繪。柵條的寬度到2016年會(huì)達(dá)到

10 nm或更小。到達(dá)這些量級(jí)，器件的工作部分僅由幾個(gè)原子或分子組成。

   這并不容易實(shí)現(xiàn)。隨著器件尺寸變得更小，會(huì)有一系列可預(yù)見(jiàn)的事情，其優(yōu)點(diǎn)是更快的運(yùn)行速度和更高的密度。然而，更小的尺寸要求更潔凈的環(huán)境、增加工藝控制、更精密的圖形化設(shè)備及更多的事項(xiàng)。

   晶圓的直徑將會(huì)達(dá)到450 mm以上，工廠的自動(dòng)化水平也將遍及到機(jī)器之間，并且?guī)в?/span>集成的工藝監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。更多高水平的工藝將會(huì)要求更高產(chǎn)量的晶圓制造廠，這些工廠具有更精密的[藝自動(dòng)化和工廠管理。，這些大工廠的成本將高達(dá)100億美元“1。來(lái)自巨大投資的壓力迫使研發(fā)和建廠的速度更快。