TEM包含有若干部件,其中有用于傳輸電子束 的真空系統(tǒng)、用于產(chǎn)生電子束的電子發(fā)射源、一系 雙目光學(xué)顯徼鏡 列的電磁透鏡以及靜電盤(pán)。 ADS7843后兩個(gè)器件允許操作者  觀察窗口 按照要求對(duì)電子束進(jìn)行操作。此外還有設(shè)備將樣品移入或移出電子束通路,或者在通路中移動(dòng),成像 設(shè)備隨后使用射出的電子束成像u剔。圖l-32是透射 透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖電子顯微鏡的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。

   電子槍:其功能是發(fā)射電子,由陰極、柵極、陽(yáng)極組成。陰極管發(fā)射的電子通過(guò)柵極上的小孔形成射線束,經(jīng)陽(yáng)極電壓加速后射向聚光鏡,起到對(duì)電子束加速、加壓的作用。聚光鏡:將電子束聚集,以控制入射電子束強(qiáng)度和孔徑角。樣品室:放置待觀察的樣品,并裝有傾轉(zhuǎn)臺(tái),用以改變?cè)嚇拥慕嵌?還裝配有加熱、冷卻等設(shè)備。

   物鏡:放大率極高的短距透鏡,作用是放大電子像。物鏡是決定透射電子顯微鏡分辨能力和成像質(zhì)量的關(guān)鍵。

   中間鏡:可變放大倍數(shù)的弱透鏡,作用是對(duì)電子像進(jìn)行二次放大。通過(guò)調(diào)節(jié)中間鏡的電流,可選擇物體的像或電子衍射圖來(lái)進(jìn)行放大。透射鏡:高倍的強(qiáng)透鏡,用來(lái)放大中間像后在熒光屏上成像。