此外還有二級真空泵來對樣品室抽真空、照相裝置用以記錄影像。ADS7843E觀察研究薄膜的微觀結構,對TEM樣品的質量要求很高,因此透射電鏡制樣對于電鏡工作者來說就顯得非常的重要。為全面研究薄膜結構,通常需要制各截面樣品和平面樣品。下面對TEM樣品的制備進行簡單介紹。

   為了觀察薄膜材料的橫截面和界面結構,就需要制備截面樣品。圖⒈33是透射電鏡測試的樣品的制備流程圖。制備截面樣品如右圖所示[49⒈①用盤鋸將樣品切割成3mm×6mm的長方形小片;②用丙酮清洗干凈,然后將兩個小片有薄膜的面對粘,形成三明治結構然后用砂紙手工水磨,直到樣品厚為80um以下;③繼續(xù)減薄,直到樣品最薄的區(qū)域小于90um為止;④將樣品粘在直徑為3△lm的銅環(huán)上,然后放入離子減薄儀中,用雙槍對樣品兩側同時進行減薄,直到樣品穿孔。在減薄的過程中,樣品要盡量的薄,樣品如果不夠薄,則在減薄儀中用離子減薄的時間太長,導致薄膜晶化。這樣的樣品,無法在電鏡下觀察。