在GaN基LED芯片制造工藝過(guò)程中,需要實(shí)時(shí)對(duì)產(chǎn)線物料、工藝、機(jī)臺(tái)、環(huán)境等進(jìn)行檢驗(yàn)。MMA1200EG進(jìn)行實(shí)時(shí)檢驗(yàn)的目的主要有以下幾點(diǎn):

   ①保證產(chǎn)品的品質(zhì),如各項(xiàng)光電參數(shù)、外觀及其他物理特性等;

   ②對(duì)產(chǎn)線工藝進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控,便于維護(hù)產(chǎn)線工藝穩(wěn)定;

   ③及時(shí)發(fā)現(xiàn)各類異常,避免發(fā)生異常后還往后續(xù)工序作業(yè),造成不必要的成本浪費(fèi)。GaN基LED芯片制造過(guò)程工序較為復(fù)雜,涉及的物料繁多,對(duì)各種類型的物料,其檢驗(yàn)的方式也不一樣。對(duì)于產(chǎn)線常用到并且使用量較大的物料,如各種酸堿溶液、顯影液、去膠溶液、藍(lán)白膜、離型紙、各種光刻膠、去蠟液、酒精、丙酮、異丙醇、ITo錠、各種金屬蒸發(fā)源顆粒、電子束燈絲、晶振片,等等,除了查看其生產(chǎn)日期和保質(zhì)期外,一般按照其生產(chǎn)批次進(jìn)行產(chǎn)線試用的方式,只有試用合格的物料才能被產(chǎn)線批量使用;對(duì)于光罩等這樣的關(guān)鍵物料,需要對(duì)光罩上的圖形尺寸進(jìn)行精細(xì)測(cè)量,判定合格后才能被產(chǎn)線采用;對(duì)于C12、SH4(或者siClH3等)、Bα3、N2、02、s凡、CFo、N20(或者N202等)等特種氣體,則需要定時(shí)請(qǐng)專門的檢驗(yàn)部門對(duì)其純度進(jìn)行檢驗(yàn)。