根據(jù)對外延片合格產(chǎn)品的要求, JANTX2N2907A需要進行以下測試分析:

   ①表面反射率分析(PR:Photo RcⅡcctivity),測試外延片表面的粗糙度;

   ②光致發(fā)光分析(PL:PhotolumincsccllCe),光譜分析、峰值波長、波長均勻性、半峰寬;

   ③Ⅺ射線分析(X-Ray),晶格質(zhì)量、組分分析、周期計算;

   ④Hall霍爾效應(yīng)測試,主要測量電阻率、遷移率、載流子濃度、霍爾系數(shù);

   ⑤電致發(fā)光測量(EL:ElectrolumillesccnCc),其分析參數(shù)包括亮度(mcd)、正向偏壓(Vf)、波長(nm)、半峰寬、反向電流、波長漂移、反向電壓、抗EsD能力等;

   ⑥顯微鏡測量,包括原子力顯微鏡、金相顯微鏡及掃描電鏡進行表面形貌分析。

   表面反射率

   隨著對外延片表面質(zhì)量要求的不斷提高,表面粗糙度已經(jīng)成為合格外延片的必要條件。外延片表面粗糙度的測量利用光學(xué)原理,如圖5-16所示。當(dāng)一束光以…定的角度照射到固體表面后,除一部分光被固體吸收外,另一部分被反射和散射。反射光的強弱與被測表面的粗糙度有關(guān),反射光的強弱通過反射光強度與入射光強度的比值即表面反射率(白分比)來表示。具有光滑表面的GaN外延片,共測量的表面反射率為17%,lFl粗糙的GaN表面反射率范圍約在1%~10%。因此,依據(jù)測量的外延片表面反射率能夠有效地判斷

出其表面粗糙度。