外延片光致發(fā)光光譜及掃描成像系統(tǒng)

   光致發(fā)光是指物體依賴外界光源的照射,從而獲得能量,產(chǎn)生激發(fā)導致發(fā)光的現(xiàn)象。JANTX2N6770從本質(zhì)上講,光致發(fā)光是材料中的電子吸收光子的能量躍遷到較高能級的激發(fā)態(tài),在躍遷回低能級時,以光輻射的方式釋放能量。外延片PL譜掃描成像系統(tǒng)用于快速檢測外延片的質(zhì)量,通過逐點掃描能夠?qū)⑼庋悠姆e分光強、主波長、峰值波長、半峰寬等參數(shù)以繪圖的形式顯示它們在外延片中的分布。從圖5-17的光致發(fā)光掃描成像圖可以很直觀地通過不同的顏色看出外延片表面各個位置的發(fā)光強度等參數(shù)的誤差。