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無論是光電儀器還是精密機械設(shè)備

發(fā)布時間:2017/1/5 20:07:37 訪問次數(shù):1709

   無論是光電儀器還是精密機械設(shè)備,其自身精度是一項重要的技術(shù)指標(biāo)。 FQPF12N60C隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,對于光電精密儀器的精度也提出了越來越高的要求。例如在半導(dǎo)體工業(yè)中,64KB的隨機存儲器線寬為2ym~3p.m,而256KB存儲器的線寬達到0.7ym,這就要半導(dǎo)體的光刻設(shè)備和測試儀器本身的精度能達到亞微米級。由此可見,精度設(shè)計是儀器設(shè)計成敗的關(guān)鍵。

   光電精密儀器的精度無論多高,總是存在著誤差。進行精度分析的目的是找出產(chǎn)生誤差的根源和規(guī)律,分析誤差對儀器設(shè)備精度的影響,以便合理地選擇方案、設(shè)計結(jié)構(gòu)、確定參數(shù)和設(shè)置必要的補償環(huán)節(jié),從而在保證經(jīng)濟性的基礎(chǔ)上達到較高的精度。

   儀器精度理論主要研究影響儀器精度的各項誤差的來源及特性,研究誤差的評定和估計方法,掌握誤差的傳遞、轉(zhuǎn)化和相互作用的規(guī)律、誤差合成與分配原則,從而為精度設(shè)計提供可靠的科學(xué)依據(jù)。

   1.誤差定義


   在對某物理量進行測量的過程中,所測得的數(shù)值與標(biāo)一稱值(或真值)之間的差值稱為誤差,即

   真誤差值=測量值一標(biāo)稱值

   誤差的大小反映了測量值對于櫟稱值的偏離程度,它具有以下特點。


   (1)任何測量手段無論精度多高,總是有誤差存在。即真誤差是客觀存在的,永遠不會等于零。

   (2)多次重復(fù)測量某物理參數(shù)時,各次的測量值并不相等,這是誤差不確定性的反映。只有量儀的分辨率太低時,才會出現(xiàn)測量值相等的情況。

   (3)真誤差是未知的,因為通常真值是未知的。

   為了能正確地表達精度,人們在長期實踐中,確定了以下基本概念。

   (1)理論真值(即名義值)。它是設(shè)計時給定的或是用數(shù)學(xué)、物理公式計算的給定值,如零件的名義尺寸等。

   無論是光電儀器還是精密機械設(shè)備,其自身精度是一項重要的技術(shù)指標(biāo)。 FQPF12N60C隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,對于光電精密儀器的精度也提出了越來越高的要求。例如在半導(dǎo)體工業(yè)中,64KB的隨機存儲器線寬為2ym~3p.m,而256KB存儲器的線寬達到0.7ym,這就要半導(dǎo)體的光刻設(shè)備和測試儀器本身的精度能達到亞微米級。由此可見,精度設(shè)計是儀器設(shè)計成敗的關(guān)鍵。

   光電精密儀器的精度無論多高,總是存在著誤差。進行精度分析的目的是找出產(chǎn)生誤差的根源和規(guī)律,分析誤差對儀器設(shè)備精度的影響,以便合理地選擇方案、設(shè)計結(jié)構(gòu)、確定參數(shù)和設(shè)置必要的補償環(huán)節(jié),從而在保證經(jīng)濟性的基礎(chǔ)上達到較高的精度。

   儀器精度理論主要研究影響儀器精度的各項誤差的來源及特性,研究誤差的評定和估計方法,掌握誤差的傳遞、轉(zhuǎn)化和相互作用的規(guī)律、誤差合成與分配原則,從而為精度設(shè)計提供可靠的科學(xué)依據(jù)。

   1.誤差定義


   在對某物理量進行測量的過程中,所測得的數(shù)值與標(biāo)一稱值(或真值)之間的差值稱為誤差,即

   真誤差值=測量值一標(biāo)稱值

   誤差的大小反映了測量值對于櫟稱值的偏離程度,它具有以下特點。


   (1)任何測量手段無論精度多高,總是有誤差存在。即真誤差是客觀存在的,永遠不會等于零。

   (2)多次重復(fù)測量某物理參數(shù)時,各次的測量值并不相等,這是誤差不確定性的反映。只有量儀的分辨率太低時,才會出現(xiàn)測量值相等的情況。

   (3)真誤差是未知的,因為通常真值是未知的。

   為了能正確地表達精度,人們在長期實踐中,確定了以下基本概念。

   (1)理論真值(即名義值)。它是設(shè)計時給定的或是用數(shù)學(xué)、物理公式計算的給定值,如零件的名義尺寸等。

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