對(duì)于較大直徑晶圓，水平式BA05ST-V5反應(yīng)爐是氧化設(shè)備的選擇”。

   對(duì)于更大直徑的水平式反應(yīng)爐來(lái)講，也會(huì)有相應(yīng)的工藝問(wèn)題。其中一個(gè)是如何保證氣流是層流狀態(tài)。層流狀態(tài)(laminar gas flow)是均勻的、無(wú)氣體分離的、不產(chǎn)生不均勻反應(yīng)的湍流。

   這些考慮導(dǎo)致了垂直式反應(yīng)爐( VTF)的開(kāi)發(fā)，它選擇更高的生產(chǎn)量、更大直徑工藝的配置㈦，在這種配置里，爐管被設(shè)計(jì)成垂直狀態(tài)，從底部或頂部裝載晶圓，但爐管材料和加熱系統(tǒng)與水平式反應(yīng)爐一樣。

   在垂直式反應(yīng)爐中，更均勻的（層流）氣流使得工藝均勻度得到加強(qiáng)。在水平式反應(yīng)爐咀，蓖力會(huì)使混合的氣體產(chǎn)生分離傾向。在垂直式反應(yīng)爐中，氣體平行運(yùn)動(dòng)，使重力造成氣體分離的問(wèn)題影響減到最小，舟的旋轉(zhuǎn)使湍流產(chǎn)生的可能性減到最小。垂直式反應(yīng)爐產(chǎn)生的工藝漂移量?jī)H為水平式反應(yīng)爐生產(chǎn)的60%15．

   伴隨著水平式反應(yīng)爐中石英舟容易產(chǎn)生的刮擦爐管內(nèi)壁而產(chǎn)生顆粒的問(wèn)題，在垂直式反應(yīng)爐中被徹底解決了，并且潔凈系統(tǒng)范圍中需要的裝卸區(qū)面積更小16。

   一個(gè)最具吸引力的方面是垂直式反應(yīng)爐的占地面積很小。該系繞小于傳統(tǒng)的4層系統(tǒng)。垂直式反應(yīng)爐提供r在凈化間外面裝載晶圓的可能性，這只需讓裝載入口開(kāi)在凈化間內(nèi)。在這種布局里，反應(yīng)爐在凈化間的占地面積為零。維修可以在維區(qū)進(jìn)行。另一個(gè)可能_的布局是把垂直式反應(yīng)爐按島塊／集群布置。幾臺(tái)反應(yīng)爐圍繞一個(gè)機(jī)械手分布，這個(gè)機(jī)械手可以分別給幾臺(tái)反應(yīng)爐裝片。這樣設(shè)計(jì)更簡(jiǎn)單，設(shè)備可靠性更高，維修費(fèi)用更低，正常運(yùn)行時(shí)間更

長(zhǎng)。垂直式反應(yīng)爐可以配置成在晶圓制造中需要的氧化、擴(kuò)散、退火和淀積的任一種工藝。