由于非本征硅光電導(dǎo)材料在低溫下的電阻率高
發(fā)布時間:2017/1/24 22:19:03 訪問次數(shù):1272
原則上講,摻雜不同就可以得到對應(yīng)不同輻射波長響應(yīng)的探測器。實際上由JRC4558D于大多數(shù)有用的雜質(zhì)在基質(zhì)半導(dǎo)體的晶格中因溶度低,使得其靈敏度很低。目前用于三個大氣窗口的非本征硅大致上為:第一和第二個窗口可用In、S和Tl摻雜。但S固溶度低,擴(kuò)散快,可能導(dǎo)致外延層污染。Tl比較合適,但只適用于3.4—4.2 Wn。第三個窗口的摻雜劑主要是Ga,而Mg雜質(zhì)由于存在一個0.04 eV淺能級,故需要補(bǔ)償才有希望作為長波長探測器材料。
由于非本征硅光電導(dǎo)材料在低溫下的電阻率高,因而能用來做積累式CCD的襯底。在積累模式MIS結(jié)枸中,柵極是加偏壓的,因而多數(shù)載流子就沿絕緣體和半導(dǎo)體界而存儲和轉(zhuǎn)移,這時在柵下形成了局部勢阱。但在電荷轉(zhuǎn)移的動力學(xué)過程上與普通可見光CCD 的反型模式有很大差別。因為在積累式器件中,橫向電場一直延伸到背面電極,而不像反型模式的橫向電場只限制在耗盡區(qū)。
不過也可以用少數(shù)載流子工作模式,它由非本征襯底和導(dǎo)電類型相反的外延層組成,非本征襯底中的多子注入外延層成為少子。則類似于MOS場效應(yīng)管。為了降低外延層和PN結(jié)區(qū)的復(fù)合,引起收集效率降低,柵壓一般要求高些。
原則上講,摻雜不同就可以得到對應(yīng)不同輻射波長響應(yīng)的探測器。實際上由JRC4558D于大多數(shù)有用的雜質(zhì)在基質(zhì)半導(dǎo)體的晶格中因溶度低,使得其靈敏度很低。目前用于三個大氣窗口的非本征硅大致上為:第一和第二個窗口可用In、S和Tl摻雜。但S固溶度低,擴(kuò)散快,可能導(dǎo)致外延層污染。Tl比較合適,但只適用于3.4—4.2 Wn。第三個窗口的摻雜劑主要是Ga,而Mg雜質(zhì)由于存在一個0.04 eV淺能級,故需要補(bǔ)償才有希望作為長波長探測器材料。
由于非本征硅光電導(dǎo)材料在低溫下的電阻率高,因而能用來做積累式CCD的襯底。在積累模式MIS結(jié)枸中,柵極是加偏壓的,因而多數(shù)載流子就沿絕緣體和半導(dǎo)體界而存儲和轉(zhuǎn)移,這時在柵下形成了局部勢阱。但在電荷轉(zhuǎn)移的動力學(xué)過程上與普通可見光CCD 的反型模式有很大差別。因為在積累式器件中,橫向電場一直延伸到背面電極,而不像反型模式的橫向電場只限制在耗盡區(qū)。
不過也可以用少數(shù)載流子工作模式,它由非本征襯底和導(dǎo)電類型相反的外延層組成,非本征襯底中的多子注入外延層成為少子。則類似于MOS場效應(yīng)管。為了降低外延層和PN結(jié)區(qū)的復(fù)合,引起收集效率降低,柵壓一般要求高些。
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