制備好的單晶硅錠經(jīng)切片加工得到硅片。切片工KA2206B藝流程為:切斷→滾磨→定晶向一切片→倒角→研磨→腐蝕→拋光艸清洗→檢驗(yàn)。

   各工藝的具體內(nèi)容如下。

   切斷:切除單晶硅錠的頭部、尾部及超規(guī)格部分,將單晶硅錠分段成切片設(shè)備可以處理的長度,應(yīng)切取試片測量單晶硅錠的電阻率和含氧量等。

   切斷設(shè)備:內(nèi)圓切割機(jī)或外圓切割機(jī)。

   滾磨:由于生長的單晶硅錠的外徑表面并不平整,E111彐晶向硅錠有3個棱,E100]晶向硅錠有4個棱,直徑也比最終拋光晶片所規(guī)定的直徑規(guī)格大,通過外徑滾磨可以獲得較為精確的直徑。外徑滾磨設(shè)備:磨床。

   定晶向:將滾磨后的硅錠進(jìn)行平邊或V形槽處理,采用X射線衍射方法確定晶向。當(dāng)X射線被晶體衍射時,通過測量衍射線的方位即可以確定出晶體取向。直徑在150mm以下的硅錠,用磨床磨出平邊,用來標(biāo)記晶向和摻雜類型,在后面工藝中用于對準(zhǔn)晶向。硅片主要晶向和摻雜類型的定位平邊(定位面)形狀如圖~910所示。更大的硅錠是在其側(cè)面磨出一V形槽。