在3.2.2節(jié)圖34中的氣相外延設(shè)各是典型的臥式(水平式)氣相外延設(shè)備。外延設(shè)LD2981CU33TR各種類繁多,除了有臥式還有立式、筒式,常壓、低壓,熱壁、冷壁等多種類型之分。圖312所示是立式和筒式外延裝置。氣相外延設(shè)備一般由5部分組成。

   (1)反應(yīng)器。這是進(jìn)行外延生長的容器裝置,目前反應(yīng)器有多種類型,如水平式、立式和筒式等。反應(yīng)器采用耐高溫、清潔無污染的材料構(gòu)成,如石英。反應(yīng)器內(nèi)有放置襯底的基座,冷壁式反應(yīng)器的

基座多為石墨材質(zhì)的易感器,上面覆有石英。在圖⒊12所示的立式和筒式反應(yīng)器中,考慮到外延氣體在襯底表面的均勻分布,基座采用的支撐裝置多是可控旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。低壓反應(yīng)器必須為耐壓、氣密裝

置。隨著科技的進(jìn)步,新型反應(yīng)器中還安裝有外延層實(shí)時(shí)厚度檢測(cè)、表面監(jiān)測(cè)等裝置。

   (2)氣體系統(tǒng)。這是反應(yīng)劑、摻雜劑等外延氣體存儲(chǔ)、輸運(yùn)及其控制裝置。包含源氣瓶、管路、閥門、流量計(jì)等。氣態(tài)源是直接將氣瓶接人管路,而液態(tài)源通常是放在源氣瓶里.用載氣攜帶進(jìn)入路。載氣攜帶液態(tài)源時(shí)對(duì)源的精確控溫非常重要,它決定了被載氣攜帶源的計(jì)量。近年來,為精確控制源的進(jìn)氣量,采用了直接對(duì)液態(tài)源加熱汽化的裝置。外延管路采用耐腐蝕的不銹鋼或聚四氟乙烯管,必須密封性良好,不泄漏。流量計(jì)使用精密的質(zhì)量流量計(jì)。