求下列條件下的固溶度與擴散系數(shù):

   ①B在1050℃;②P在950℃。

   在硅襯底上975℃,30min預淀積磷,當襯底為O.3Ω・cm的lD⒏時:

   ①求結(jié)深和雜質(zhì)總量; OJ-451S-N23

   ②若繼續(xù)進行再分布,1100℃,50min,求這時的結(jié)深和表面雜質(zhì)濃度。

   硼注人,峰值濃度(RP)在0,1um處.注入能量是多少?

   在1000℃工作的擴散爐,溫度偏差為±1℃,擴散深度相應的偏差是多少?假定是高斯擴散。

   對n區(qū)進行P擴散,使α=1000G。證明:假定是恒定源擴散,結(jié)深與(Dr)告成正比,請確定比例因子。

   什么是硼的逆退火現(xiàn)象?

   什么是溝道效應?如何才能避免?

   在1050℃濕氧氣氛生長1um厚氧化層,計算所需時間。若拋物型速率系數(shù)與氧化氣壓成正比,分別計算5個、20個大氣壓下的氧化時間c

   在P⒊中擴磷13min,測得結(jié)深為0.5um,為使結(jié)深達到1.5um,在原條件下還要擴散多長時間?然后,進行濕氧化,氧化層厚0.2um時,結(jié)深是多少?(濕氧速率很快,短時間的氧化,忽略磷向硅內(nèi)部的推進。)

   3O keV、10⒓ions/cm2Bll注入s中,求峰值深度和峰值濃度。O.3um處濃度是多少?