當(dāng)前,蒸鍍?cè)O(shè)備主要采用的加熱器類型及性能特點(diǎn)如下。

   ①電阻加熱器。它是利OP27GS用電功率為源提供能量使源蒸發(fā)的。加熱器材料多為難熔金屬,如鎢、鉬、鉭等,制成螺旋式、錐形籃式、舟式、坩堝式等式樣,各種形狀的電阻加熱器結(jié)構(gòu)如圖812所示。

   選擇加熱器材料時(shí)應(yīng)考慮材料熔點(diǎn)應(yīng)高,飽和蒸氣壓應(yīng)低,化學(xué)性能應(yīng)穩(wěn)定。而加熱器的形狀應(yīng)視蒸發(fā)源形狀而定,絲狀的源(如鋁絲、金絲)可以掛在螺旋式加熱器上;顆粒狀或塊狀的源(如鉻粒)可以放置在錐形籃式加熱器上;粉末狀源(如銀粉)可以擺放在舟式或坩堝式加熱器上。

   蒸發(fā)源對(duì)加熱器材料是否浸潤(rùn)也非常重要。源在加熱器上受熱熔化后有擴(kuò)展傾向時(shí),浸潤(rùn)性好,蒸發(fā)面大,認(rèn)為是面蒸發(fā)。而源受熱熔化后不能在加熱器上擴(kuò)展時(shí),浸潤(rùn)性差,認(rèn)為是點(diǎn)蒸發(fā)。在浸潤(rùn)的情況下,蒸發(fā)源與加熱器材料相容,因而蒸發(fā)狀態(tài)穩(wěn)定,特別對(duì)絲狀蒸發(fā)源來(lái)說(shuō),浸潤(rùn)性更重要,如果浸潤(rùn)性差,熔化的源易從加熱器上脫落。例如,銀絲用鎢絲制成的螺旋式加熱器蒸鍍時(shí),熔融銀

對(duì)鎢的浸潤(rùn)性差,非常容易脫落,因此,一般使用鉬舟作為鍍銀的加熱器。電阻加熱器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便,但不能用于蒸鍍某些難熔金屬和高熔點(diǎn)氧化物材料,加熱器材 料的痕量揮發(fā)會(huì)給所制各的薄膜帶來(lái)污染,高溫加熱器甚至會(huì)熔斷。