電感加熱器。它是利OP497G用電感在導電的金屬源中產(chǎn)生的渦流電功率來對源加熱的。電感加熱器示意圖如圖⒏13所示,一般由氮化硼(BN)制成坩堝,金屬線圈繞在坩堝上,在這個線圈上加載射頻功率,坩堝內(nèi)的源材料中就感應出渦流電流,電熱使源蒸發(fā)。線圈本身用水冷,保持溫度低于100℃,有效地避免了線圈材料的損耗。

   電感加熱器可以用于蒸發(fā)難熔金屬,如鈦、鎢、鉬、鉭、鉑等。相對于電阻加熱器而言,蒸鍍薄膜純凈,但電感加熱器功耗更大。

   電子束加熱器。它是利用高能電子束轟擊源材料,以此為源提供能量使其蒸發(fā)的。電子束加熱器示意圖如圖814所示,從坩堝下面的電子槍中噴射出有一定強度的高能電子束,用強磁場將束F束 流彎曲270°使之轟擊蒸發(fā)源表面,源材料受電子束轟擊,獲得能量,蒸發(fā)。

   采用電子束加熱器的蒸鍍一般稱為電子束蒸鍍,這種蒸鍍方法可以制備的薄膜材料范圍很廣,難熔金屬、在蒸發(fā)溫度不分解的化合物,以及合金等都能容易地從電子束中獲取能量而蒸發(fā),如鎢、鉑、氮化鈦等。而且電子束蒸鍍所制各的薄膜較電阻加熱方法制備的薄膜更純凈。但是,采用電子束加熱器蒸發(fā)所制各的薄膜,特別要注意輻射對襯底的損傷。輻射是由于蒸發(fā)原子在獲取電子束能量時有電子躍遷至激發(fā)態(tài)能級,當其退回基態(tài)能級而產(chǎn)生的,由于X射線能損傷襯底和電介質(zhì),電子束蒸鍍不可用于對輻射損傷靈敏的襯底。