浮膠就是在顯影和腐蝕過程中,由于化學(xué)試劑不斷侵入光刻膠膜與sO2或其他薄膜間的界面,HAT3008R-EL-E所引起的光刻膠圖形膠膜皺起或剝落的現(xiàn)象。所以,浮膠現(xiàn)象的產(chǎn)生與膠膜的黏附性有密切關(guān)系。顯影時(shí)產(chǎn)生浮膠的原囚有:

   ①涂膠前基片表面沾有油污、水汽,使膠膜與基片表面黏附不牢。

   ②光刻膠配制有誤或膠液陳舊、不純,膠的光化學(xué)反應(yīng)性能不好,與基片表面黏附能力差,或者膠膜過厚,收縮膨脹不均,引起黏附不良。

   ③烘焙時(shí)間不足或過度。

   ④曝光不是。

   ⑤顯影時(shí)間過長,使膠膜軟化。腐蝕時(shí)產(chǎn)生浮膠的原因有:

   ①堅(jiān)膜時(shí)膠膜沒有烘透,膜不堅(jiān)固。

   ②腐蝕液配方不當(dāng)。例如,腐蝕⒊02的氟化氫緩沖腐蝕液中,氟化銨太少,化學(xué)活潑性太強(qiáng)。

   ③腐蝕溫度太低或太高。