X射線點光源是最早被考慮的一種產(chǎn)生X射線的方法。等離子體X射線源按產(chǎn)生的方式可以分為兩種:激光等離子體源和高密度等離子體源。SDCL1005C2N4STDF激光等離子體源所產(chǎn)生的X射線具有高強度和價格低廉的特點,是一種很有吸引力的X射線源。用于產(chǎn)生X射線的靶材料可以是從鐵(Fc)到固態(tài)氖(Ne)在內(nèi)的很多種材料,但這種輻射容易產(chǎn)生殘渣顆粒。激光等離子體源發(fā)射X射線的轉(zhuǎn)換效率很高,因此可以滿足實際需要的輻射功率。激光等離子體源發(fā)射X射線的平均功率典型值為幾mw/cm2。實驗發(fā)現(xiàn)使用Cu等離子體源得到的X射線具有更高的能量轉(zhuǎn)換率,并且輻射的射線波長在1n磋右,因此,Cu是一種比較理想的X射線點光源的靶材。高密度等離子體源是通過放電產(chǎn)生X射線的,其輻射機理與激光等離子體相同,但輻射功率大,是一種很有發(fā)展前途的X射線源。同步輻射X射線源,是利用高能電子束在磁場中沿曲線軌道運動時發(fā)出電磁輻射(簡稱同步輻射),從中引出特定波長范圍的高強度、高準直性的X射線作為曝光源。高能電子在半徑為ρ的加速器中運動時,每旋轉(zhuǎn)一圈的能量損失.