將調(diào)制檢測的思想用于像分析中可以得到掃描調(diào)制式像分析器
發(fā)布時間:2017/7/14 20:13:49 訪問次數(shù):348
將調(diào)制檢測的思想用于像分析中可以得到掃描調(diào)制式像分析器。在這類裝置中, MAX2820EGM成像光路增設(shè)了周期振動的光學(xué)零件(如棱鏡反射鏡、光楔等)或振動狹縫,使面上的目標(biāo)像相對狹縫做周期振動。這時透過狹縫的光通量形成隨時間周期性變化的光載波。目標(biāo)像的位移信息將由于像分析而調(diào)制到載波上去,從而產(chǎn)生各種調(diào)制的光信號。這種使目標(biāo)像和測光窗口之間相對掃描運(yùn)動的像分析器稱為掃描調(diào)制型像分析器。
出了利用非線性圖解法畫出掃描調(diào)制型狹縫分析器的輸出信號波彤的過程。圖中曲線1表示了線像相對狹縫中心偏移量Ax=0時,由于掃描運(yùn)動形成的正弦運(yùn)動軌跡abcde,經(jīng)過理想成像條件下狹縫定位特性多的傳遞,得到如曲線1 7所示的輸出光通量時間波形,這個波形有正弦信號的全波整流形狀,其基波分量是掃描頻率的二倍頻率。因此,輸出信號為零。曲線2和2 7,3和3 7分別表示,A>0和Ax<0情況下的掃描運(yùn)動和輸出光通量的變化。這種調(diào)制是幅度、寬度的調(diào)制。對應(yīng)著不同的偏移方向,輸出光通量發(fā)生180。相位移,采用相敏檢波解調(diào)方法可以得到1”、2”和3”的整流輸出電信號。它們的直流分量的數(shù)值和極性反映了線像的對準(zhǔn)或偏離大小和偏離方向。調(diào)制信號的解調(diào)也可
以用測量脈沖寬度比或幅度比的方法進(jìn)行。
將調(diào)制檢測的思想用于像分析中可以得到掃描調(diào)制式像分析器。在這類裝置中, MAX2820EGM成像光路增設(shè)了周期振動的光學(xué)零件(如棱鏡反射鏡、光楔等)或振動狹縫,使面上的目標(biāo)像相對狹縫做周期振動。這時透過狹縫的光通量形成隨時間周期性變化的光載波。目標(biāo)像的位移信息將由于像分析而調(diào)制到載波上去,從而產(chǎn)生各種調(diào)制的光信號。這種使目標(biāo)像和測光窗口之間相對掃描運(yùn)動的像分析器稱為掃描調(diào)制型像分析器。
出了利用非線性圖解法畫出掃描調(diào)制型狹縫分析器的輸出信號波彤的過程。圖中曲線1表示了線像相對狹縫中心偏移量Ax=0時,由于掃描運(yùn)動形成的正弦運(yùn)動軌跡abcde,經(jīng)過理想成像條件下狹縫定位特性多的傳遞,得到如曲線1 7所示的輸出光通量時間波形,這個波形有正弦信號的全波整流形狀,其基波分量是掃描頻率的二倍頻率。因此,輸出信號為零。曲線2和2 7,3和3 7分別表示,A>0和Ax<0情況下的掃描運(yùn)動和輸出光通量的變化。這種調(diào)制是幅度、寬度的調(diào)制。對應(yīng)著不同的偏移方向,輸出光通量發(fā)生180。相位移,采用相敏檢波解調(diào)方法可以得到1”、2”和3”的整流輸出電信號。它們的直流分量的數(shù)值和極性反映了線像的對準(zhǔn)或偏離大小和偏離方向。調(diào)制信號的解調(diào)也可
以用測量脈沖寬度比或幅度比的方法進(jìn)行。
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