設(shè)計(jì)的光路布局增加一個(gè)反射鏡，避免了采用接觸式測(cè)量方法而存在的零件表面易劃傷、N80C188XL20測(cè)量時(shí)間長(zhǎng)等缺點(diǎn)，并具備如下優(yōu)點(diǎn)：

   ①試件上光斑大小與測(cè)量透鏡和準(zhǔn)直光纖的相對(duì)位置無(wú)關(guān)。

   ②試件上測(cè)量區(qū)域相對(duì)測(cè)量透鏡形成遠(yuǎn)心光路，對(duì)光電二極管陣列和測(cè)量透鏡在光軸方向上的位置精度要求不高。

    ③光路相對(duì)測(cè)量透鏡光軸對(duì)稱，避免激光束反射回光影響。

   采用光纖法在線測(cè)量表面粗糙度的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量速度快，適用于內(nèi)表面粗糙度測(cè)量。其缺點(diǎn)主要是測(cè)量誤差大，測(cè)量范圍小，而且光纖的數(shù)值孔徑較小，這樣接收的散射光信息有限。因此光纖法的應(yīng)用也受到了一定的限制。

   上述幾種方法都可以進(jìn)行表面粗糙度的在線檢測(cè)，但是存在的共同問(wèn)題是光路結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本高，并且測(cè)量范圍受原埋限制(Ra< 10 nm)，對(duì)表面粗糙度不是面積采樣，要完成一次測(cè)量需要輔助以垂直加工紋理方向的掃描運(yùn)動(dòng)，這樣測(cè)量周期也就較長(zhǎng)，同時(shí)它們對(duì)測(cè)頭和試件相對(duì)位置要求很高，使得調(diào)整困難。而利用光纖作為探頭基于光散射原理的表面粗糙度在線檢測(cè)，由于受散射角變化的影響很大，從原理上來(lái)講，其測(cè)量誤差較高，測(cè)量范圍也較��；另一方面，光纖數(shù)值孔徑較小，這樣接收的散射光信息十分有限，都使得其應(yīng)用受到極大限制。