離散事件系統(tǒng)和連續(xù)系統(tǒng)都隨不同時間類型的變化而變化,但離散事件系統(tǒng)是更加復(fù)雜的動態(tài)系統(tǒng)。K9F1G08UOB-PCBO通常,連續(xù)系統(tǒng)是指各個狀態(tài)變量隨時間連續(xù)改變的系統(tǒng),而離散事件系統(tǒng)的活動和狀態(tài)是在離散時間點上發(fā)生的改變,具備如下特征:事件驅(qū)動、異步、并發(fā)性、沖突、非確定性、死鎖和相互抑制等。離散事件系統(tǒng)建模的復(fù)雜程度較高,而且難以用傳統(tǒng)的數(shù)學(xué)方法來描述。

   離散事件系統(tǒng)通常包含實體、屬性、事件、活動、進(jìn)程和狀態(tài)等必要的因素。針對集束型裝備而言,上述因素的具體含義如下。

   (1)實體是指離散系統(tǒng)的詳細(xì)對象,如晶圓、加工模塊和機(jī)械手等。

   (2)屬性是指實體的某些特征,如工序的加工時間、機(jī)械手搬運作業(yè)的時間等。

   (3)使系統(tǒng)狀態(tài)發(fā)生改變的稱為事件,如晶圓在加工過程中觸發(fā)相應(yīng)的控制條件,使系統(tǒng)按照一定的規(guī)則加工。

   (4)活動是指系統(tǒng)狀態(tài)發(fā)生改變的過程,如晶圓在工序中的加工過程,以及機(jī)械手運送晶圓的過程等。

   (5)進(jìn)程則是由事件的觸發(fā)序列組成,旨在描述對象的實體分配資源的過程。

   (6)狀態(tài)是指在特定時刻系統(tǒng)狀態(tài)的標(biāo)識。