隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)及現(xiàn)代仿真技術(shù)的發(fā)展,作為研究復(fù)雜系統(tǒng)的重要工具,仿真調(diào) K9F1G08U0D-SCB0度變得越來越有意義。離散事件系統(tǒng)仿真方法能夠用來描述加工晶圓的動(dòng)態(tài)和隨機(jī)特征。通過建立描述性的仿真模型,分析給定解的性能,進(jìn)而對解進(jìn)行改進(jìn),得出相應(yīng)的解析式。對于較為復(fù)雜的晶圓流模式,通常采用數(shù)學(xué)模型,難以描述作業(yè)時(shí)間波動(dòng)與滯留時(shí)間約束。 仿真方法能夠分析、優(yōu)化集束型裝備的性能,如晶圓制造周期`生產(chǎn)效率及設(shè)備利用率等。另外,在改變晶圓的加工配方前,為降低決策風(fēng)險(xiǎn),很有必要進(jìn)行仿真。為讓工程師們能夠熟練掌握集束型裝各,把復(fù)雜制造過程的Petri網(wǎng)變?yōu)橹庇^的三維仿真模型,也具有重要的現(xiàn)實(shí)意義.