原材料氣源供應(yīng)系統(tǒng)的功能是向反應(yīng)室內(nèi)輸運和提供各種反應(yīng)氣源。通過配RA07N4047M置高精密的質(zhì)量流量計、壓力控制計、特殊設(shè)計的精密閥門等,該系統(tǒng)可以精確控制氣源的供應(yīng)量、供應(yīng)時間和順序,以及流過反應(yīng)室的總氣體流量與流速等,生長出所需要的高質(zhì)量外延材料。氣源供應(yīng)系統(tǒng)主要包括Mo源供應(yīng)子系統(tǒng)、氫化物供應(yīng)子系統(tǒng)和特殊設(shè)計的生長/放空(Run/Vcnt)多路組合閥等組成。

   除氣源的精確供應(yīng)與有效控制外,該系統(tǒng)的設(shè)計與配置還需同時具備良好的氣密性和使用與操作上的便捷性。例如,源氣供應(yīng)系統(tǒng)一般都與真空管路、氮氣管路相連,它們平時都用閥門隔絕。這樣的設(shè)計便于引入氮氣等對設(shè)備進行“吹掃”和清潔,同時,也可對管道與系統(tǒng)通過與真空抽氣連結(jié)而實現(xiàn)有效排氣,清空系統(tǒng)內(nèi)的雜質(zhì)和殘留的污染物等。而且,這樣的設(shè)計也能保持設(shè)備內(nèi)外氣密隔絕,維持管道和系統(tǒng)內(nèi)部的超凈環(huán)境,保障外延的高純生長質(zhì)量。另外,系統(tǒng)還會設(shè)置檢漏口和異常情況下戶動切換到安全狀態(tài)的功能配置。