本小節(jié)介紹4種目前主流的反應(yīng)室技術(shù)。

   行星衛(wèi)星式氣浮旋轉(zhuǎn)水平反應(yīng)室(Planetary Reactor):該技術(shù)為德國(guó)愛思強(qiáng)(AIXTRON)公司產(chǎn)品。在結(jié)構(gòu)上,其Ⅲ族和V族反應(yīng) RA08H1317M源分別從上蓋經(jīng)中央水冷處理的三層氣流噴嘴進(jìn)入反應(yīng)室,通過(guò)環(huán)狀格柵和噴嘴靠近托盤中心的圓形擋板阻擋,使氣流被迫轉(zhuǎn)向沿放置襯底的大石墨托盤(行星盤)和石英/石墨天棚之間的3ω°環(huán)形空間,呈輻射狀向外緣水平流動(dòng)。這樣的結(jié)構(gòu)帶來(lái)幾個(gè)明顯效果:天棚(cciling)和托盤基座靠得很近,抑制了對(duì)流旋渦從而獲得層流;三層流噴口的上、下兩層流為V族氣流,中間層為Ⅲ族氣流,且噴嘴有主動(dòng)水冷,這樣就有利于抑制預(yù)反應(yīng),并進(jìn)

一步促進(jìn)層流的形成與保持。行星大盤上有多個(gè)放置襯底的石墨衛(wèi)星小轉(zhuǎn)盤,呈環(huán)形均勻分布。行星大盤的旋轉(zhuǎn)由磁流體密封軸直接驅(qū)動(dòng),形成公轉(zhuǎn);而衛(wèi)星石墨轉(zhuǎn)盤則由氣浮旋轉(zhuǎn)技術(shù)驅(qū)動(dòng),是為自傳。襯底隨行星大盤公轉(zhuǎn)又隨衛(wèi)星小盤各自自轉(zhuǎn),使得在整個(gè)襯底表面上獲得均勻的生長(zhǎng)速度。該反應(yīng)室內(nèi)的加熱系統(tǒng),對(duì)于氮化物體系采用高頻感應(yīng)加熱,采用紅外輻射高溫計(jì)測(cè)量托盤底部溫度并依此控制加熱,也從托盤上表面監(jiān)測(cè)襯底溫度。其托盤底部控溫的光學(xué)探頭易受到沉積覆蓋,影響測(cè)量準(zhǔn)確和穩(wěn)定性,容易造成溫度誤差而使設(shè)備工藝漂移。