內(nèi)部氣體成分分析技術(shù)的發(fā)展趨勢

   目前國內(nèi)比較多使用的試驗設(shè)備為IVA210s,該設(shè)備不但可以判定密封器件內(nèi)部水汽含量是否超過5OO0ppm,而且還可以給出密封器件內(nèi)部各種氣體的含量及其分布平面圖、三維圖等。其報告可以是定性結(jié)論,也可以是定量結(jié)果、譜線報告和三維分布圖等。雖然設(shè)備能力上可以在測試密封器件內(nèi)的水汽含量的同時還測試密封器件內(nèi)部所有氣體的組成情況,但是缺少相應(yīng)的標準判據(jù)。

E48SH05020NRFH

    現(xiàn)代微納米技術(shù)飛速發(fā)展,新型密封元器件的小型化及其密封材料的研究開發(fā),迫切需求高分辨內(nèi)部氣氛分析儀。另一方面,封裝工藝的改善及新型封裝材料的研發(fā)在依賴于內(nèi)部氣氛分析儀的同時,也對其提出了更高的指標要求。此外,部分微型元器件內(nèi)部腔體體積達到0.01cc甚至以下,氣體組分濃度低至ppm級,如何提取如此小腔體內(nèi)的有限量氣體,研發(fā)精度更高的進樣方法和質(zhì)譜分析技術(shù),進一步提高氣體分析時的利用率和電離率,從而提高檢測精度等。