內(nèi)部氣體成分分析技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)

   目前國(guó)內(nèi)比較多使用的試驗(yàn)設(shè)備為IVA210s,該設(shè)備不但可以判定密封器件內(nèi)部水汽含量是否超過(guò)5OO0ppm,而且還可以給出密封器件內(nèi)部各種氣體的含量及其分布平面圖、三維圖等。其報(bào)告可以是定性結(jié)論,也可以是定量結(jié)果、譜線報(bào)告和三維分布圖等。雖然設(shè)備能力上可以在測(cè)試密封器件內(nèi)的水汽含量的同時(shí)還測(cè)試密封器件內(nèi)部所有氣體的組成情況,但是缺少相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)判據(jù)。

E48SH05020NRFH

    現(xiàn)代微納米技術(shù)飛速發(fā)展,新型密封元器件的小型化及其密封材料的研究開(kāi)發(fā),迫切需求高分辨內(nèi)部氣氛分析儀。另一方面,封裝工藝的改善及新型封裝材料的研發(fā)在依賴(lài)于內(nèi)部氣氛分析儀的同時(shí),也對(duì)其提出了更高的指標(biāo)要求。此外,部分微型元器件內(nèi)部腔體體積達(dá)到0.01cc甚至以下,氣體組分濃度低至ppm級(jí),如何提取如此小腔體內(nèi)的有限量氣體,研發(fā)精度更高的進(jìn)樣方法和質(zhì)譜分析技術(shù),進(jìn)一步提高氣體分析時(shí)的利用率和電離率,從而提高檢測(cè)精度等。