露點(diǎn)法本身建立在可靠的理論基礎(chǔ)上,準(zhǔn)確度高、測(cè)量范圍寬。然而,環(huán)境因素的影響嚴(yán)重制約了其在內(nèi)部微量氣氛分析中的應(yīng)用。 E48SC3R315NMFA首先,水溶性物質(zhì)(一般是可溶性鹽類)的存在會(huì)使水汽提前凝露,即產(chǎn)生拉烏爾效應(yīng),使測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生正偏差。其次,密封元器件內(nèi)部 往往存在一些沸點(diǎn)比水低的容易冷凝的物質(zhì),如有機(jī)物的蒸汽,它們的存在對(duì)露點(diǎn)的測(cè)量同樣會(huì)產(chǎn)生干擾。此外,密封元器件內(nèi)部水汽的露點(diǎn)測(cè)試技術(shù)以被測(cè)元器件本身的芯片作為傳感器。因此,水汽能否優(yōu)先凝露于芯片及被測(cè)的PN結(jié)上也是一個(gè)重要的影響因素。

    目前的標(biāo)準(zhǔn)中都僅僅對(duì)水汽含量進(jìn)行考核,將其他氣體成分的含量數(shù)值僅作參考。GJB548采用方法1018的適用性應(yīng)由鑒定機(jī)構(gòu)對(duì)特定極限值及體積進(jìn)行認(rèn)定。方法1018核準(zhǔn)程序和適用性研究被設(shè)計(jì)為:在確定一個(gè)樣品是否通過規(guī)定的限值時(shí),一個(gè)試驗(yàn)室與另一個(gè)試驗(yàn)室間的差別不超過±20%。測(cè)得的在適用范圍(水汽含量一體積)以上或以下的水汽量不得作為可靠的數(shù)據(jù)。這個(gè)超出范圍的數(shù)據(jù)僅表示相對(duì)的概念,并且僅僅是在與一個(gè)試驗(yàn)室的結(jié)果進(jìn)行比較時(shí)才采用。對(duì)于0,5%(50OOppm)的規(guī)范極限值,均應(yīng)采用以公式進(jìn)行修正。對(duì)于容積小于0,01cm3器件.