1 2003年國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)基本情況

　　隨著半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的快速發(fā)展，我國(guó)從事半設(shè)備開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)正在迅速增加，2003年2002年的40個(gè)發(fā)展為接近60個(gè)(包括兼作)，其中主要單位20家左右。大部分單位從事序和后工序設(shè)備研制，材料制備設(shè)備、凈化設(shè)備、半導(dǎo)體專用工模具、檢測(cè)設(shè)備、試驗(yàn)設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備零部件也各有一些單位在研究和生產(chǎn)。一些企業(yè)已開(kāi)始在中國(guó)設(shè)廠，為行業(yè)的發(fā)展注入了活力。

　　據(jù)對(duì)其中16家主要單位的統(tǒng)計(jì)(見(jiàn)下表)，在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)量同比下降28．8％的同時(shí)，2003年半得體設(shè)備銷售額達(dá)到25361萬(wàn)元(未包括凈化設(shè)備、試驗(yàn)設(shè)備、半導(dǎo)體專用工模具、半導(dǎo)體設(shè)備零部件)，同比增長(zhǎng)51．3％，說(shuō)明我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)檔次有了較大幅度的提升。如將凈化設(shè)備、試驗(yàn)設(shè)備、半導(dǎo)體專用工模具、半導(dǎo)體設(shè)備零部件以及16家以外的半導(dǎo)體設(shè)備單位統(tǒng)計(jì)在內(nèi)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備2003年的銷售額應(yīng)在4億元以上。

2003年電子專用設(shè)備行業(yè)銷售收入前8名的單位中有7家都不同程度地從事半導(dǎo)體或凈化設(shè)備工作，其中江蘇蘇凈集團(tuán)有限公司、北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司仍然位居行業(yè)第一、二位。

　　從銷售角度分析，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的服務(wù)方向雖仍以一些院校和研究所中的科研型集成電路生產(chǎn)線以及半導(dǎo)體分立器件、LED、太陽(yáng)能電池、SAW、電力電子等其它應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域?yàn)橹�。但部分材料制備設(shè)備(6”單晶爐、研磨機(jī)、拋光機(jī))、后道工序設(shè)備(6”劃片機(jī)、塑封機(jī)、自動(dòng)封裝系統(tǒng)、模具)以及6”前道工序中的擴(kuò)散設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、清洗設(shè)備等已逐步進(jìn)入集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域。

　　在國(guó)際合作方面，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司與法國(guó)合資成立的生產(chǎn)數(shù)字及模擬質(zhì)量流量計(jì)的七星弗洛爾公司已正式開(kāi)業(yè)；與美國(guó)AVIZA公司也已簽訂合作意向，共同開(kāi)發(fā)8英寸立式擴(kuò)散爐市場(chǎng)。

　　2003年10月，銅陵三佳(集團(tuán))有限責(zé)任公司和韓國(guó)豐山微電子株式會(huì)社共同出資組建的銅陵豐山三佳微電子有限公司正式開(kāi)業(yè)，一期注冊(cè)資金
2000萬(wàn)美元，生產(chǎn)具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的“半導(dǎo)體集成電路引線框架”及“引線框架模具”，計(jì)劃2004年-2007年分兩期共投資7500萬(wàn)美元，將成為中國(guó)引線框架和引線框架模具最大的生產(chǎn)基地。

　　青島旭光儀表設(shè)備有限公司與法國(guó)AET公司，經(jīng)過(guò)多次商談達(dá)成了合作意向，擬在青島旭光生產(chǎn)國(guó)際先進(jìn)水平的“電加熱元件”，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步合作生產(chǎn)相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備。

　　2003年3月在上海舉行的《2003國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展覽會(huì)暨研討會(huì)(SEMICON CHINA2003)》，展出面積23000平方米，比2002年擴(kuò)大了一倍，640家國(guó)內(nèi)外廠商參展，近40000觀眾參觀，2004年3月舉辦的《2004國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展覽會(huì)暨研討會(huì)(SEMICONChina2004)》的展出面積則進(jìn)而達(dá)到26000多平方米，950多家國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備和材料生產(chǎn)廠商參加了展出，展示了半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)際合作與對(duì)外貿(mào)易的良好勢(shì)頭。

　　應(yīng)美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料國(guó)際協(xié)會(huì)(SEMl)的邀請(qǐng)，2003年中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)第一次組團(tuán)赴美參加2003年美國(guó)西部半導(dǎo)體設(shè)備和材料展
覽會(huì)暨研討會(huì)(SEMICONWEST2003)。在美期間，除參加展覽會(huì)和交流會(huì)活動(dòng)外，還參觀了有關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備制造公司、洽談了合作生產(chǎn)設(shè)備和購(gòu)買(mǎi)零部件等事宜。

　　2 科研及重點(diǎn)項(xiàng)目進(jìn)展情況

　　由中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所、四十八研究所，北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司，國(guó)投南光有限公司，西北機(jī)器廠，西安電子科技大學(xué)等單位研制，中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所負(fù)責(zé)應(yīng)用研究的國(guó)家重點(diǎn)攻關(guān)項(xiàng)目——6英寸、0．5微米集成電路芯片生產(chǎn)線關(guān)鍵設(shè)備共計(jì)14種、18臺(tái)套全部順利通過(guò)了鑒定和驗(yàn)收，并已經(jīng)在生產(chǎn)線投入使用。這14種設(shè)備包括電子束曝光機(jī)、分步重復(fù)投影曝光機(jī)、M-RIE金屬刻蝕設(shè)備、RIE介質(zhì)刻蝕設(shè)備、IMD-CVD設(shè)備、LPCVD、大束流離子注入機(jī)、磁控濺射系統(tǒng)、氧化擴(kuò)散系統(tǒng)、ECR-CVD、硅片勻膠顯影處理系統(tǒng)、石英管清洗機(jī)、硅片腐蝕清洗系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)等。其中突破重大關(guān)鍵技術(shù)152項(xiàng)，取得專利49項(xiàng)，培養(yǎng)和鍛煉專業(yè)技術(shù)人才189人。這是中國(guó)自行研制的第一條6英寸0．5微米的集成電路生產(chǎn)線，它的研制成功為縮小我國(guó)與國(guó)際先進(jìn)水平的差距作出了貢獻(xiàn)，為振興電子專用裝備制造業(yè)奠定了良好的基礎(chǔ)。

　　國(guó)家高科技項(xiàng)目中的光刻機(jī)、離子注入機(jī)、刻蝕機(jī)、大直徑硅單晶爐項(xiàng)目等正在加緊進(jìn)行。電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金安排的8英寸快速熱處理設(shè)備、8英寸多工位硅片清洗腐蝕設(shè)備、8英寸硅片自動(dòng)劃片機(jī)、集成電路自動(dòng)封裝系統(tǒng)、VXI數(shù)�；旌霞呻娐窚y(cè)試系統(tǒng)等，以及一部分企業(yè)自行安排的材料制備設(shè)備和后工序設(shè)備的研制也已進(jìn)入尾聲。

　　信息產(chǎn)業(yè)部2001年度電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金重點(diǎn)支持項(xiàng)目——8英寸立式擴(kuò)散爐在北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司研發(fā)成功并已進(jìn)入設(shè)備調(diào)試階段。該設(shè)備填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)集成電路專用立