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溫控靜電吸盤(pán)(ESC)增強(qiáng)對(duì)關(guān)鍵尺寸均勻性和重復(fù)性的控制

發(fā)布時(shí)間:2021/4/19 19:23:16 訪問(wèn)次數(shù):1281

Primo Twin-Star®使用了雙反應(yīng)臺(tái)腔體設(shè)計(jì)和低電容耦合3D線圈設(shè)計(jì)，創(chuàng)新的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)可最大程度減弱非中心對(duì)稱(chēng)抽氣口效應(yīng)，通過(guò)采用多區(qū)溫控靜電吸盤(pán)（ESC）增強(qiáng)了對(duì)關(guān)鍵尺寸均勻性和重復(fù)性的控制。

憑借這些優(yōu)異的性能和其他特性，與其他同類(lèi)設(shè)備相比，Primo Twin-Star® 以更小的占地面積、更低的生產(chǎn)成本和更高的輸出效率，進(jìn)行ICP適用的邏輯和存儲(chǔ)芯片的介質(zhì)和導(dǎo)體的各種刻蝕應(yīng)用，并用于功率器件和CMOS圖像傳感器（CIS）的刻蝕應(yīng)用。

制造商:Xilinx 產(chǎn)品種類(lèi):FPGA - 現(xiàn)場(chǎng)可編程門(mén)陣列 RoHS: 詳細(xì)信息 產(chǎn)品:Spartan-3A 系列:XC3S200A 邏輯元件數(shù)量:4032 LE 輸入/輸出端數(shù)量:195 I/O 工作電源電壓:1 V 最小工作溫度:- 40 C 最大工作溫度:+ 100 C 安裝風(fēng)格:SMD/SMT 封裝 / 箱體:FBGA-256 商標(biāo):Xilinx 柵極數(shù)量:200000 分布式RAM:28 kbit 內(nèi)嵌式塊RAM - EBR:288 kbit 濕度敏感性:Yes 產(chǎn)品類(lèi)型:FPGA - Field Programmable Gate Array 工廠包裝數(shù)量:90 子類(lèi)別:Programmable Logic ICs 商標(biāo)名:Spartan 單位重量:7.175 g

Longsys DDR5內(nèi)存進(jìn)一步減少了信號(hào)脈沖的反射干擾效應(yīng)，讓信號(hào)傳輸更加純凈。

DDR5內(nèi)存使Bank Group的數(shù)量增加了一倍，并且每個(gè)Group的Bank數(shù)量保持不變。Longsys DDR5 BG提供更少的訪問(wèn)延遲，加倍提高了系統(tǒng)的整體效率，允許更多頁(yè)面同時(shí)被打開(kāi)。

由于Primo Twin-Star®反應(yīng)器在很多方面采取了和單臺(tái)機(jī)Primo nanova®相同或相似的設(shè)計(jì)，在眾多的刻蝕應(yīng)用中，Primo Twin-Star®顯示了和單臺(tái)反應(yīng)器相同的刻蝕結(jié)果。

這就給客戶(hù)提供了高質(zhì)量、高輸出和低成本的解決方案。


(素材來(lái)源：ttic和eccn.如涉版權(quán)請(qǐng)聯(lián)系刪除。特別感謝）

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