Aston這是一個(gè)創(chuàng)新型原位半導(dǎo)體計(jì)量平臺(tái)，帶有集成等離子體電離源。

Aston是半導(dǎo)體生產(chǎn)計(jì)量領(lǐng)域中的一次重大演變，實(shí)現(xiàn)了原位分子過程控制，使現(xiàn)有工廠運(yùn)行更高效，并可推動(dòng)產(chǎn)出提升。

Aston專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，它作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺(tái)，可以取代多種傳統(tǒng)工具，并在一系列全面應(yīng)用中提供前所未有的控制水平，包括光刻、電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積、腔室清潔、腔室匹配和消解。

通過Aston，某些應(yīng)用中的單位工藝吞吐量可以提升40%以上，這是一個(gè)很大的改進(jìn)。

這種顛覆性技術(shù)將使我們的客戶能夠提供新一代高性能、多千瓦射頻功率解決方案，同時(shí)減少他們的設(shè)計(jì)周期時(shí)間和降低產(chǎn)品成本。

市場(chǎng)首創(chuàng)的Integra 100V射頻氮化鎵技術(shù)將徹底重新定義高功率射頻系統(tǒng)的可能性。

此項(xiàng)技術(shù)與單個(gè)封裝的50V氮化鎵晶體管相比，可以提供約為其兩倍的功率，因此可以去除大量的合成器和相關(guān)的電子電路，從而縮小系統(tǒng)體積，減輕重量和降低成本，同時(shí)提高系統(tǒng)效率。

Integra的首款100V射頻氮化鎵產(chǎn)品是IGN1011S3600，專為航空電子應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

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