液壓缸Ⅱ工進I工進結束,碰到死擋鐵,⒕缸停止運動。⒕缸右腔油壓迅速上升,當油壓超過順序閥7的預調(diào)壓力時,順序閥7打開,壓力油進人B缸下腔,上腔的油液經(jīng)換向閥3、換向閥10(右位)及節(jié)流閥11流回油箱,實現(xiàn)了B缸活塞垂直向上工進。

液壓缸Ⅱ快退當撞塊9碰到行程開關SQ2時,使電磁鐵YA1、YA2都斷電,換向閥3復右位,換向閥10復左位。壓力油經(jīng)換向閥3進人B缸上腔,下腔油經(jīng)單向閥8、換向閥3、換向閥10直接流入油箱,實現(xiàn)了B缸活塞垂直向下快退。

液壓傳動系統(tǒng)實例用職能符號表示的多缸順序?qū)Ｓ勉姶惨簤合到y(tǒng)。兩液壓缸I、Ⅱ的動作順序。該系統(tǒng)利用單向順序閥和電氣行程開關配合,完成嚴格的順序動作。

1―單向定量油泵 2一溢流閥 3一二位四通電磁換向閥 4、8―單向閥 5、9一撞塊 6、7―順序閥 10―二位三通電磁換向閥 11―節(jié)流閥

液壓缸I工進當撞塊5碰到行程開關SQ1時,換向閥10的電磁鐵YA2通電,右位接入系統(tǒng),使回流油液只能經(jīng)節(jié)流閥11流回油箱,實現(xiàn)了A缸活塞水平向左工進。

在X射線以及等離子方面都有不錯的積累。如今跳出EUV框架選擇X射線作為光刻機的突破路線確實是一個切實可行的選擇。

同時由于更短的波長使得X射線在1nm及更先進的制程中也存在反超EUV光刻機的可能。

如今的EUV光刻機已經(jīng)形成了一整套完備的產(chǎn)業(yè)鏈，不同企業(yè)負責不同分工來完成這臺精密的儀器。X射線光刻機確實可以完成理論方面的研究，但是由于缺乏產(chǎn)業(yè)鏈的支持，導致這種類型的光刻機難以實現(xiàn)量產(chǎn)，或者量產(chǎn)成本過高。隨之而來的就是商業(yè)化應用難以推廣，最終導致失敗。