液壓缸Ⅱ工進(jìn)I工進(jìn)結(jié)束,碰到死擋鐵,⒕缸停止運動。⒕缸右腔油壓迅速上升,當(dāng)油壓超過順序閥7的預(yù)調(diào)壓力時,順序閥7打開,壓力油進(jìn)人B缸下腔,上腔的油液經(jīng)換向閥3、換向閥10(右位)及節(jié)流閥11流回油箱,實現(xiàn)了B缸活塞垂直向上工進(jìn)。

液壓缸Ⅱ快退當(dāng)撞塊9碰到行程開關(guān)SQ2時,使電磁鐵YA1、YA2都斷電,換向閥3復(fù)右位,換向閥10復(fù)左位。壓力油經(jīng)換向閥3進(jìn)人B缸上腔,下腔油經(jīng)單向閥8、換向閥3、換向閥10直接流入油箱,實現(xiàn)了B缸活塞垂直向下快退。

液壓傳動系統(tǒng)實例用職能符號表示的多缸順序?qū)Ｓ勉姶惨簤合到y(tǒng)。兩液壓缸I、Ⅱ的動作順序。該系統(tǒng)利用單向順序閥和電氣行程開關(guān)配合,完成嚴(yán)格的順序動作。

1―單向定量油泵 2一溢流閥 3一二位四通電磁換向閥 4、8―單向閥 5、9一撞塊 6、7―順序閥 10―二位三通電磁換向閥 11―節(jié)流閥

液壓缸I工進(jìn)當(dāng)撞塊5碰到行程開關(guān)SQ1時,換向閥10的電磁鐵YA2通電,右位接入系統(tǒng),使回流油液只能經(jīng)節(jié)流閥11流回油箱,實現(xiàn)了A缸活塞水平向左工進(jìn)。

在X射線以及等離子方面都有不錯的積累。如今跳出EUV框架選擇X射線作為光刻機(jī)的突破路線確實是一個切實可行的選擇。

同時由于更短的波長使得X射線在1nm及更先進(jìn)的制程中也存在反超EUV光刻機(jī)的可能。

如今的EUV光刻機(jī)已經(jīng)形成了一整套完備的產(chǎn)業(yè)鏈，不同企業(yè)負(fù)責(zé)不同分工來完成這臺精密的儀器。X射線光刻機(jī)確實可以完成理論方面的研究，但是由于缺乏產(chǎn)業(yè)鏈的支持，導(dǎo)致這種類型的光刻機(jī)難以實現(xiàn)量產(chǎn)，或者量產(chǎn)成本過高。隨之而來的就是商業(yè)化應(yīng)用難以推廣，最終導(dǎo)致失敗。