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光學(xué)鏡頭增大鏡頭的數(shù)值孔徑選擇X射線光刻機(jī)路線

發(fā)布時(shí)間:2022/4/10 11:48:40 訪問(wèn)次數(shù):984

X射線光刻機(jī)使用的是X射線,波長(zhǎng)介于0.01nm到10nm之間,比EUV極紫外光還要短,因此光刻分辨率要高很多。關(guān)于ASML指責(zé)中國(guó)企業(yè)東方晶源侵權(quán)一事就迅速成為熱點(diǎn),目前的進(jìn)展,還是停留在東方晶源的回復(fù)上,其表示報(bào)道與事實(shí)不符,東方晶源有自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

EUV光刻機(jī)的發(fā)展路線圖,其EUV光刻機(jī)的下一個(gè)重大技術(shù)變革,將會(huì)是高數(shù)值孔徑系統(tǒng)。

高數(shù)值孔徑系統(tǒng),簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是光刻機(jī)的光學(xué)鏡頭部分,而增大鏡頭的數(shù)值孔徑,可以確保光刻機(jī)制造更先進(jìn)的芯片。或許這樣的信息對(duì)大家來(lái)說(shuō)沒(méi)有什么其他感覺(jué),但其實(shí)很不尋常,其實(shí)該消息的出現(xiàn),就意味著ASML又回到了30年前的狀態(tài)。

L2+行泊一體芯片解決方案,采用先進(jìn)工藝,最大算力16Tops,單顆SOC實(shí)現(xiàn)行泊一體功能,并可采用自然散熱,推動(dòng)自動(dòng)駕駛系統(tǒng)向8-10萬(wàn)元的入門(mén)級(jí)車(chē)型覆蓋,重新定義入門(mén)級(jí)自動(dòng)駕駛解決方案。

從車(chē)企的角度,希望車(chē)企可以給國(guó)內(nèi)的芯片公司更多的機(jī)會(huì),通過(guò)聯(lián)合開(kāi)發(fā)項(xiàng)目,牽引國(guó)產(chǎn)的SOC成為更符合車(chē)企需求的SOC,更多使用國(guó)產(chǎn)化芯片提升供應(yīng)鏈安全性。此外,支持引導(dǎo)生態(tài)打造,鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)芯片企業(yè)、算法公司、Tier 1等企業(yè)的強(qiáng)強(qiáng)合作。

提及中國(guó)的芯片巨頭,或許不少?lài)?guó)人率先想到公司會(huì)是華為。華為海思在芯片行業(yè)取得的一系列可觀成績(jī),為中國(guó)芯片的國(guó)產(chǎn)化添磚加瓦。

液壓缸I快進(jìn)啟動(dòng)單向定量油泵1,按下電氣按鈕,二位四通電磁換向閥3的電磁鐵YA1通電,左位接人系統(tǒng),壓力油經(jīng)換向閥3進(jìn)人A缸右腔,處缸活塞水平向左快進(jìn)。左腔的油經(jīng)單向閥4和換向閥3、二位三通電磁換向閥10(左位)直接流回油箱。

液壓缸I6水平運(yùn)動(dòng)液壓缸Ⅱ垂直運(yùn)動(dòng),多缸順序?qū)S勉姶惨簤合到y(tǒng).

但是從反方向來(lái)說(shuō),選擇X射線光刻機(jī)路線也面臨著非常大的難度,首先就是產(chǎn)業(yè)鏈問(wèn)題.高達(dá)10萬(wàn)個(gè)零件背后所牽扯到的是包括光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭系統(tǒng)、雙工件臺(tái)系統(tǒng)等等全球多家頂級(jí)科技企業(yè)的結(jié)晶。


X射線光刻機(jī)使用的是X射線,波長(zhǎng)介于0.01nm到10nm之間,比EUV極紫外光還要短,因此光刻分辨率要高很多。關(guān)于ASML指責(zé)中國(guó)企業(yè)東方晶源侵權(quán)一事就迅速成為熱點(diǎn),目前的進(jìn)展,還是停留在東方晶源的回復(fù)上,其表示報(bào)道與事實(shí)不符,東方晶源有自主的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

EUV光刻機(jī)的發(fā)展路線圖,其EUV光刻機(jī)的下一個(gè)重大技術(shù)變革,將會(huì)是高數(shù)值孔徑系統(tǒng)。

高數(shù)值孔徑系統(tǒng),簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是光刻機(jī)的光學(xué)鏡頭部分,而增大鏡頭的數(shù)值孔徑,可以確保光刻機(jī)制造更先進(jìn)的芯片。或許這樣的信息對(duì)大家來(lái)說(shuō)沒(méi)有什么其他感覺(jué),但其實(shí)很不尋常,其實(shí)該消息的出現(xiàn),就意味著ASML又回到了30年前的狀態(tài)。

L2+行泊一體芯片解決方案,采用先進(jìn)工藝,最大算力16Tops,單顆SOC實(shí)現(xiàn)行泊一體功能,并可采用自然散熱,推動(dòng)自動(dòng)駕駛系統(tǒng)向8-10萬(wàn)元的入門(mén)級(jí)車(chē)型覆蓋,重新定義入門(mén)級(jí)自動(dòng)駕駛解決方案。

從車(chē)企的角度,希望車(chē)企可以給國(guó)內(nèi)的芯片公司更多的機(jī)會(huì),通過(guò)聯(lián)合開(kāi)發(fā)項(xiàng)目,牽引國(guó)產(chǎn)的SOC成為更符合車(chē)企需求的SOC,更多使用國(guó)產(chǎn)化芯片提升供應(yīng)鏈安全性。此外,支持引導(dǎo)生態(tài)打造,鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)芯片企業(yè)、算法公司、Tier 1等企業(yè)的強(qiáng)強(qiáng)合作。

提及中國(guó)的芯片巨頭,或許不少?lài)?guó)人率先想到公司會(huì)是華為。華為海思在芯片行業(yè)取得的一系列可觀成績(jī),為中國(guó)芯片的國(guó)產(chǎn)化添磚加瓦。

液壓缸I快進(jìn)啟動(dòng)單向定量油泵1,按下電氣按鈕,二位四通電磁換向閥3的電磁鐵YA1通電,左位接人系統(tǒng),壓力油經(jīng)換向閥3進(jìn)人A缸右腔,處缸活塞水平向左快進(jìn)。左腔的油經(jīng)單向閥4和換向閥3、二位三通電磁換向閥10(左位)直接流回油箱。

液壓缸I6水平運(yùn)動(dòng)液壓缸Ⅱ垂直運(yùn)動(dòng),多缸順序?qū)S勉姶惨簤合到y(tǒng).

但是從反方向來(lái)說(shuō),選擇X射線光刻機(jī)路線也面臨著非常大的難度,首先就是產(chǎn)業(yè)鏈問(wèn)題.高達(dá)10萬(wàn)個(gè)零件背后所牽扯到的是包括光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭系統(tǒng)、雙工件臺(tái)系統(tǒng)等等全球多家頂級(jí)科技企業(yè)的結(jié)晶。


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