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光學(xué)鏡頭增大鏡頭的數(shù)值孔徑選擇X射線光刻機路線

發(fā)布時間:2022/4/10 11:48:40 訪問次數(shù):982

X射線光刻機使用的是X射線,波長介于0.01nm到10nm之間,比EUV極紫外光還要短,因此光刻分辨率要高很多。關(guān)于ASML指責(zé)中國企業(yè)東方晶源侵權(quán)一事就迅速成為熱點,目前的進展,還是停留在東方晶源的回復(fù)上,其表示報道與事實不符,東方晶源有自主的知識產(chǎn)權(quán)。

EUV光刻機的發(fā)展路線圖,其EUV光刻機的下一個重大技術(shù)變革,將會是高數(shù)值孔徑系統(tǒng)。

高數(shù)值孔徑系統(tǒng),簡單來說就是光刻機的光學(xué)鏡頭部分,而增大鏡頭的數(shù)值孔徑,可以確保光刻機制造更先進的芯片。或許這樣的信息對大家來說沒有什么其他感覺,但其實很不尋常,其實該消息的出現(xiàn),就意味著ASML又回到了30年前的狀態(tài)。

L2+行泊一體芯片解決方案,采用先進工藝,最大算力16Tops,單顆SOC實現(xiàn)行泊一體功能,并可采用自然散熱,推動自動駕駛系統(tǒng)向8-10萬元的入門級車型覆蓋,重新定義入門級自動駕駛解決方案。

從車企的角度,希望車企可以給國內(nèi)的芯片公司更多的機會,通過聯(lián)合開發(fā)項目,牽引國產(chǎn)的SOC成為更符合車企需求的SOC,更多使用國產(chǎn)化芯片提升供應(yīng)鏈安全性。此外,支持引導(dǎo)生態(tài)打造,鼓勵國內(nèi)芯片企業(yè)、算法公司、Tier 1等企業(yè)的強強合作。

提及中國的芯片巨頭,或許不少國人率先想到公司會是華為。華為海思在芯片行業(yè)取得的一系列可觀成績,為中國芯片的國產(chǎn)化添磚加瓦。

液壓缸I快進啟動單向定量油泵1,按下電氣按鈕,二位四通電磁換向閥3的電磁鐵YA1通電,左位接人系統(tǒng),壓力油經(jīng)換向閥3進人A缸右腔,處缸活塞水平向左快進。左腔的油經(jīng)單向閥4和換向閥3、二位三通電磁換向閥10(左位)直接流回油箱。

液壓缸I6水平運動液壓缸Ⅱ垂直運動,多缸順序?qū)S勉姶惨簤合到y(tǒng).

但是從反方向來說,選擇X射線光刻機路線也面臨著非常大的難度,首先就是產(chǎn)業(yè)鏈問題.高達10萬個零件背后所牽扯到的是包括光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭系統(tǒng)、雙工件臺系統(tǒng)等等全球多家頂級科技企業(yè)的結(jié)晶。


X射線光刻機使用的是X射線,波長介于0.01nm到10nm之間,比EUV極紫外光還要短,因此光刻分辨率要高很多。關(guān)于ASML指責(zé)中國企業(yè)東方晶源侵權(quán)一事就迅速成為熱點,目前的進展,還是停留在東方晶源的回復(fù)上,其表示報道與事實不符,東方晶源有自主的知識產(chǎn)權(quán)。

EUV光刻機的發(fā)展路線圖,其EUV光刻機的下一個重大技術(shù)變革,將會是高數(shù)值孔徑系統(tǒng)。

高數(shù)值孔徑系統(tǒng),簡單來說就是光刻機的光學(xué)鏡頭部分,而增大鏡頭的數(shù)值孔徑,可以確保光刻機制造更先進的芯片。或許這樣的信息對大家來說沒有什么其他感覺,但其實很不尋常,其實該消息的出現(xiàn),就意味著ASML又回到了30年前的狀態(tài)。

L2+行泊一體芯片解決方案,采用先進工藝,最大算力16Tops,單顆SOC實現(xiàn)行泊一體功能,并可采用自然散熱,推動自動駕駛系統(tǒng)向8-10萬元的入門級車型覆蓋,重新定義入門級自動駕駛解決方案。

從車企的角度,希望車企可以給國內(nèi)的芯片公司更多的機會,通過聯(lián)合開發(fā)項目,牽引國產(chǎn)的SOC成為更符合車企需求的SOC,更多使用國產(chǎn)化芯片提升供應(yīng)鏈安全性。此外,支持引導(dǎo)生態(tài)打造,鼓勵國內(nèi)芯片企業(yè)、算法公司、Tier 1等企業(yè)的強強合作。

提及中國的芯片巨頭,或許不少國人率先想到公司會是華為。華為海思在芯片行業(yè)取得的一系列可觀成績,為中國芯片的國產(chǎn)化添磚加瓦。

液壓缸I快進啟動單向定量油泵1,按下電氣按鈕,二位四通電磁換向閥3的電磁鐵YA1通電,左位接人系統(tǒng),壓力油經(jīng)換向閥3進人A缸右腔,處缸活塞水平向左快進。左腔的油經(jīng)單向閥4和換向閥3、二位三通電磁換向閥10(左位)直接流回油箱。

液壓缸I6水平運動液壓缸Ⅱ垂直運動,多缸順序?qū)S勉姶惨簤合到y(tǒng).

但是從反方向來說,選擇X射線光刻機路線也面臨著非常大的難度,首先就是產(chǎn)業(yè)鏈問題.高達10萬個零件背后所牽扯到的是包括光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭系統(tǒng)、雙工件臺系統(tǒng)等等全球多家頂級科技企業(yè)的結(jié)晶。


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