定子鐵芯由硅鋼片疊成。轉(zhuǎn)子由硅鋼片或其他軟磁材料制成,均勻分布有齒,齒數(shù)為z。

轉(zhuǎn)子沒有繞組。

當(dāng)z=4時(shí),三相反應(yīng)式步進(jìn)電動機(jī)原理。設(shè)A相通電時(shí),齒1、3與A-Au對齊,當(dāng)采用三相單二拍通電方式,即采用A-B-C-A通電方式時(shí),每輸入一個(gè)脈沖,轉(zhuǎn)子順時(shí)針方向轉(zhuǎn)過30°角,完成三拍轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)過一個(gè)齒距角α=為手=9u。

如果改為三相雙三拍通電方式,即采用AB-BC-CA-AB通電方式,同樣每輸入一個(gè)脈沖,轉(zhuǎn)子順時(shí)針轉(zhuǎn)過30°角,完成三拍轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)過90°角。

設(shè)備采用的模塊化設(shè)計(jì)，可支持不同脈寬(納秒、皮秒、飛秒)激光器。自主研發(fā)的光學(xué)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)光斑寬度及長度連續(xù)可調(diào)，配合超高精度運(yùn)動控制平臺等技術(shù).

與激光隱切設(shè)備完美結(jié)合、相輔相成，解決了激光隱切設(shè)備對表面材質(zhì)、厚度、晶向、電阻率的限制，真正實(shí)現(xiàn)了工藝的全兼容，對有效控制產(chǎn)品破損率、提高芯片良率有著極大幫助。

FF0~F2中除FF1的J端與FF3的Q端連接外,其余輸入端土射妾邏輯1電平。

由JK觸發(fā)器組成的四位同步二進(jìn)制可逆計(jì)數(shù)器邏輯圖。該計(jì)數(shù)器的邏輯功能為:當(dāng)控制信號(遞增/遞減選擇)X=1時(shí),進(jìn)行遞增計(jì)數(shù);當(dāng)Ⅹ=0時(shí),則進(jìn)行遞減計(jì)數(shù)。