三款先進(jìn)的光罩檢測系統(tǒng)，Teron™640、Teron™SL655和光罩決策中心(RDC)。

所有這三套系統(tǒng)是實現(xiàn)當(dāng)前和下一代掩膜設(shè)計的關(guān)鍵，使得光罩廠和集成電路晶圓廠能夠更高效地辨識光刻中顯著并嚴(yán)重?fù)p害成品率的缺陷。

利用創(chuàng)新的雙重成像技術(shù)，Teron 640檢測系統(tǒng)為光罩廠提供了必要的靈敏度，對先進(jìn)的光罩進(jìn)行準(zhǔn)確的品質(zhì)檢驗。

Teron SL655檢測系統(tǒng)采用全新的STARlightGold™技術(shù)，幫助集成電路制造商評估新光罩的質(zhì)量，監(jiān)測光罩退化，并檢測對成品率至關(guān)重要的光罩缺陷。

設(shè)計能夠在802.11無線網(wǎng)絡(luò)范圍內(nèi)產(chǎn)生高品質(zhì)發(fā)送信號，同時放大噪聲因數(shù)低至2.5dB的接收信號，從而產(chǎn)生盡可能最高的數(shù)據(jù)速率。

通過將Teron 640和Teron SL655生成的大量數(shù)據(jù)與RDC的評估功能緊密結(jié)合，光罩廠和集成電路晶圓廠能夠更高效地辨識光刻中顯著的光罩缺陷，從而改善光罩的質(zhì)量控制，并獲得更好的產(chǎn)品圖案成像。

Teron檢測機(jī)臺的綜合光罩質(zhì)量測量是由光罩決策中心(RDC)所支持的，RDC 是一套數(shù)據(jù)分析與管理系統(tǒng)，具備多種功能，支持缺陷的自動識別判斷，縮短生產(chǎn)周期，并減少影響成品率的與光罩相關(guān)的掩模圖案錯誤。

放大器的典型發(fā)射增益水平為20~23dB，增益平坦度為±0.5 dB。另一個重要特性是發(fā)送（Tx）和接收（RX）狀態(tài)之間的快速切換能力（1μs，典型值）。

Fairview的全新同軸封裝雙向放大器系列非常獨特，具有快速的Tx與Rx切換功能，傳輸距離遠(yuǎn)，能高效運行，符合雙路通信系統(tǒng)工程師和設(shè)計者的期望。

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