雙重成像技術(shù),Teron 640檢測(cè)系統(tǒng)為光罩廠提供了必要的靈敏度,對(duì)先進(jìn)的光罩進(jìn)行準(zhǔn)確的品質(zhì)檢驗(yàn)。

Teron檢測(cè)機(jī)臺(tái)的綜合光罩質(zhì)量測(cè)量是由光罩決策中心(RDC)所支持的，RDC是一套數(shù)據(jù)分析與管理系統(tǒng)，具備多種功能，支持缺陷的自動(dòng)識(shí)別判斷，縮短生產(chǎn)周期，并減少影響成品率的與光罩相關(guān)的掩模圖案錯(cuò)誤。

重要特性是發(fā)送（Tx）和接收（RX）狀態(tài)之間的快速切換能力（1μs，典型值）。

1.8V至18V系統(tǒng)的雙輸入單片式電源優(yōu)先級(jí)排序器LTC4420。

為了實(shí)現(xiàn)便攜性、在欠壓期間保持存儲(chǔ)器運(yùn)作、以及在電源缺失時(shí)確保平穩(wěn)的停機(jī)，電子系統(tǒng)采用電池和電容器作為后備電源。

自有芯片工廠的慣性MEMS傳感器工藝，各項(xiàng)性能指標(biāo)均處于業(yè)內(nèi)領(lǐng)先水平，其中供電電壓為1.71V～3.6V，正常工作電流可低至 800uA，內(nèi)部陀螺儀噪聲小于5mdps/squarHz，加速度計(jì)噪聲小于100ug/squarHz，上機(jī)貼片零漂小于+/-10dps和50mg。

所有模型的模擬電壓輸出均與靈敏度水平（40~80mV/A）成正比，具體取決于模型，典型響應(yīng)時(shí)間為5μs。GHS傳感器并非簡(jiǎn)單的開環(huán)霍爾效應(yīng)ASIC傳感器，該系列產(chǎn)品具有獨(dú)特的主集成導(dǎo)體，實(shí)現(xiàn)了梯度測(cè)量，能夠在電力電子應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)出色的外場(chǎng)抗擾度。

這些專用設(shè)計(jì)整合了通過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的技術(shù)和可編程內(nèi)部溫度補(bǔ)償（EEPROM），從而確保在整個(gè)溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高性能精度、1.3%的最高失調(diào)漂移和1.5%的增益漂移。

GHS系列由單個(gè)5V電源供電,工作溫度范圍為-40~+125℃,適于任何惡劣的工業(yè)應(yīng)用。