Al、Au薄膜在淀積過程中，由于雜質(zhì)污染及局部應(yīng)48CTQ060力使薄膜中存在一定的密度缺陷，主要是空位和晶界。
    Al離子的熱振動(dòng)可使其從正常晶格位置上激發(fā)到臨近的空位中，產(chǎn)生Al離子的自擴(kuò)散，相當(dāng)于“空位”運(yùn)動(dòng)�？瘴粩U(kuò)散系數(shù)D為：
    D= Do exp(-Q/K T)    (4.4)
    式中，D。為與激活熵有關(guān)常數(shù)；Q為擴(kuò)散激活能。

               
    Al離子自擴(kuò)散各向同性，不會(huì)形成質(zhì)量的積累與虧損。當(dāng)受到力的作用時(shí)，Al離子會(huì)往一固定方向運(yùn)動(dòng)，在一端產(chǎn)生Al離子堆積，另一端產(chǎn)生空洞。晶粒尺寸大小作為相關(guān)因子，會(huì)對金屬條平均失效時(shí)間(MTF)產(chǎn)生影響，表4.3是晶粒尺寸大小比較。