金屬化條平均失效時間
發(fā)布時間:2012/4/27 19:29:23 訪問次數(shù):628
金屬化條平均失效時間( MTF)可通STA408A過解Black電遷移方程得到:
MTF= (AlCJ 2)/exp(Q/K T)
式中,A為金屬化條截面積;C為相關(guān)因子,與金屬條密度、電阻率、晶粒大小、離子質(zhì)量、幾何尺寸有關(guān);J為電流密度;Q為金屬條原子遷移激活能。T為金屬條溫度。
金屬薄膜離子激活能Q=U。+Uf時,即由空位形成能Uf和空位運(yùn)動能U。之和,介質(zhì)表面可抑制孔位形成使U,提高,從而可提高M(jìn)TF。式(4.4)就可表示為
D=Doe- (Um+Us)/KT (4.6)
表4.4是不同金屬化系統(tǒng)比較,不同金屬化系統(tǒng)會產(chǎn)生不同的MTF。
介質(zhì)覆蓋效應(yīng)
金屬化表面玻璃鈍化層作用主要是提高激活能Q、防腐蝕、防劃傷和防離子沾污等。
表4.5是介質(zhì)覆蓋效應(yīng),有無介質(zhì)覆蓋層將產(chǎn)生不同的激活能Q。尤其在Al膜厚度3000A和4000A時特別明顯。
金屬化條平均失效時間( MTF)可通STA408A過解Black電遷移方程得到:
MTF= (AlCJ 2)/exp(Q/K T)
式中,A為金屬化條截面積;C為相關(guān)因子,與金屬條密度、電阻率、晶粒大小、離子質(zhì)量、幾何尺寸有關(guān);J為電流密度;Q為金屬條原子遷移激活能。T為金屬條溫度。
金屬薄膜離子激活能Q=U。+Uf時,即由空位形成能Uf和空位運(yùn)動能U。之和,介質(zhì)表面可抑制孔位形成使U,提高,從而可提高M(jìn)TF。式(4.4)就可表示為
D=Doe- (Um+Us)/KT (4.6)
表4.4是不同金屬化系統(tǒng)比較,不同金屬化系統(tǒng)會產(chǎn)生不同的MTF。
介質(zhì)覆蓋效應(yīng)
金屬化表面玻璃鈍化層作用主要是提高激活能Q、防腐蝕、防劃傷和防離子沾污等。
表4.5是介質(zhì)覆蓋效應(yīng),有無介質(zhì)覆蓋層將產(chǎn)生不同的激活能Q。尤其在Al膜厚度3000A和4000A時特別明顯。
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