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叉指換能器

發(fā)布時間:2012/5/6 14:40:42 訪問次數(shù):4714

    叉指換能器(IDT)是構(gòu)成聲表FZT1053ATA面波器件最基本的單元,只有對IDT進行準確分析才能預(yù)計聲表面波器件的響應(yīng),進而實施器件芯片版圖的性能容差可靠性設(shè)計及其性能優(yōu)化設(shè)計。
    (1) IDT的基本結(jié)構(gòu)
    聲表面波器件的IDT由交替連接在兩個匯流條上的多條金屬電極組成(基本結(jié)構(gòu)見圖9.2)。由于當頻率對應(yīng)的聲波長(A)與IDT周期d相等時,激勵的聲表面波最強,其他頻率激勵的聲表面波由于相位相消總幅度很小。因此,IDT具有頻率選擇性。設(shè)計不同波長的IDT以得到不同頻率的聲表面波器件。
    IDT的中心頻率fo、d與聲表面波的速度V。有如下數(shù)學關(guān)系式:

               

    (2) IDT的基本模型
    IDT的基本模型有艿函數(shù)模型、脈沖響應(yīng)模型、等效電路模型、COM模型、P矩陣模型等。
    IDT的脈沖響應(yīng)的形狀和它的幾何結(jié)構(gòu)之間是時空對應(yīng)的線性對應(yīng)關(guān)系,因此,設(shè)計IDT時只需將所需頻響經(jīng)反傅里葉變換得出脈沖響應(yīng),根據(jù)脈沖響應(yīng)即可得到IDT結(jié)構(gòu)。用脈沖響應(yīng)模型描述、分析和設(shè)計聲表面波器件的IDT最直觀。
    設(shè)IDT的脈沖響應(yīng)為h(t)、頻率響應(yīng)為H(∞),則兩者的關(guān)系為:

                     

    叉指換能器(IDT)是構(gòu)成聲表FZT1053ATA面波器件最基本的單元,只有對IDT進行準確分析才能預(yù)計聲表面波器件的響應(yīng),進而實施器件芯片版圖的性能容差可靠性設(shè)計及其性能優(yōu)化設(shè)計。
    (1) IDT的基本結(jié)構(gòu)
    聲表面波器件的IDT由交替連接在兩個匯流條上的多條金屬電極組成(基本結(jié)構(gòu)見圖9.2)。由于當頻率對應(yīng)的聲波長(A)與IDT周期d相等時,激勵的聲表面波最強,其他頻率激勵的聲表面波由于相位相消總幅度很小。因此,IDT具有頻率選擇性。設(shè)計不同波長的IDT以得到不同頻率的聲表面波器件。
    IDT的中心頻率fo、d與聲表面波的速度V。有如下數(shù)學關(guān)系式:

               

    (2) IDT的基本模型
    IDT的基本模型有艿函數(shù)模型、脈沖響應(yīng)模型、等效電路模型、COM模型、P矩陣模型等。
    IDT的脈沖響應(yīng)的形狀和它的幾何結(jié)構(gòu)之間是時空對應(yīng)的線性對應(yīng)關(guān)系,因此,設(shè)計IDT時只需將所需頻響經(jīng)反傅里葉變換得出脈沖響應(yīng),根據(jù)脈沖響應(yīng)即可得到IDT結(jié)構(gòu)。用脈沖響應(yīng)模型描述、分析和設(shè)計聲表面波器件的IDT最直觀。
    設(shè)IDT的脈沖響應(yīng)為h(t)、頻率響應(yīng)為H(∞),則兩者的關(guān)系為:

                     

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