1.工藝過程監(jiān)控系統(tǒng)建立要求
    為使聲表面波器件的生產(chǎn)過程穩(wěn)AD536ASD定受控，設(shè)計時就應(yīng)提出建立工藝過程監(jiān)控系統(tǒng)的要求，使產(chǎn)品在工藝過程穩(wěn)定受控狀態(tài)下生產(chǎn)，保證產(chǎn)品內(nèi)在質(zhì)量和可靠性。
    建立工藝過程監(jiān)控系統(tǒng)的一般技術(shù)流程如圖9. 12所示。
    建立工藝過程監(jiān)控系統(tǒng)時，應(yīng)根據(jù)器件生產(chǎn)工藝流程、生產(chǎn)用工藝設(shè)備自動化控制永平和工藝質(zhì)量參數(shù)的自動化檢測能力高低情況等，確定生產(chǎn)過程實施監(jiān)控的關(guān)鍵工序過程節(jié)點，及采用的相應(yīng)數(shù)理統(tǒng)計工具；根據(jù)所制訂的產(chǎn)品工藝文件規(guī)定控制的關(guān)鍵工藝參數(shù)，選擇適當(dāng)?shù)臏y量設(shè)備儀器，采集工藝參數(shù)數(shù)據(jù)，并選用合適的控制圖分析所采集的數(shù)據(jù)。
    2.各工序控制內(nèi)容與方法要求
    聲表面波器件生產(chǎn)要經(jīng)歷基片清洗、鍍膜、光刻、劃片、粘片、點焊及封帽等工序，對各道工序的工藝都必須進(jìn)行控制，控制的內(nèi)容、方法和目的見表9.4。