靜電釋放(ESD)／電氣過載(EOS)在電子工業(yè)中的危害

   在電子工業(yè)中， VN750-B5TR-E隨著集成度越來越高，集成電路的內(nèi)絕緣層越來越薄，互連導(dǎo)線寬度與間距越來越小。例如，CMOS器件絕緣層的典型厚度約為O.lUm，其相應(yīng)耐擊穿電壓在80～100V; VMOS器件的絕緣層更薄，擊穿電壓為30V。而在電子產(chǎn)品制造及運(yùn)輸、存儲(chǔ)等過程中所產(chǎn)生的靜電電壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過CMOS器件的擊穿電壓，往往會(huì)使器件產(chǎn)生硬擊穿或軟擊穿（器件局部損傷）現(xiàn)象，使其失效或嚴(yán)重影響產(chǎn)品的可靠性。

   電子產(chǎn)品制造中的靜電源

   (1)人體靜電

   人體的活動(dòng)，人與衣服、鞋、襪等物體之間的摩擦、接觸和分離等產(chǎn)生的靜電是電子產(chǎn)品制造中主要的靜電源之一。人體靜電是導(dǎo)致器件產(chǎn)生硬（軟）擊穿的主要原因。人體活動(dòng)產(chǎn)生的靜電電壓約為0.5～2kV。另外，空氣濕度對(duì)靜電電壓的影響很大，因此在干燥環(huán)境中還要上升1個(gè)數(shù)量級(jí)。典型的相對(duì)濕度與人體活動(dòng)帶靜電的關(guān)系。

   人體帶電后觸摸到地線，會(huì)產(chǎn)生放電現(xiàn)象，人體就會(huì)產(chǎn)生不同程度的電擊感反應(yīng)，反應(yīng)的程度稱為電擊感度。不同靜電壓放電過程中人體的電擊感度。

   (2)工作服

   化纖或棉制工作服與工作臺(tái)面、坐椅摩擦?xí)r，可在服裝表面產(chǎn)生6 000V以上的靜電電壓，并使人體帶電。此時(shí)與器件接觸時(shí)，會(huì)導(dǎo)致放電，容易損壞器件。

   (3)工作鞋

   橡膠或塑料鞋底的絕緣電阻高達(dá)l013Q，當(dāng)與地面摩擦產(chǎn)生靜電使人體帶電。