由激光器發(fā)出的光，經(jīng)分束AD515SH/883B鏡分為兩束，一束射向干涉儀的固定參考臂，經(jīng)參考反射鏡返回后形成參考光束；另一束射向干涉儀的測(cè)量臂，測(cè)量臂中的反射鏡將隨被測(cè)對(duì)象一起移動(dòng)，這一束光從反射鏡返回后形成測(cè)量光束。測(cè)量光束和參考光束的相互疊加形成干涉信號(hào)。干涉信號(hào)的明暗變化次數(shù)直接對(duì)應(yīng)于測(cè)量鏡的位移，可表示為式中，Ⅳ是光電顯微鏡瞄準(zhǔn)起始點(diǎn)到終點(diǎn)的時(shí)間內(nèi)干涉條紋變化周期數(shù)，則計(jì)數(shù)得出被測(cè)位移的數(shù)值。

   以上介紹的是激光干涉長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)的基本原理，對(duì)于實(shí)際應(yīng)用的測(cè)量系統(tǒng)，若采用這種簡(jiǎn)單的干涉光路進(jìn)行測(cè)量將會(huì)存在一些問(wèn)題。例如，當(dāng)參考光束和測(cè)量光束經(jīng)過(guò)分束鏡合成時(shí)，一部分光合成到光電檢測(cè)器上進(jìn)行干涉，形成有用的干涉信號(hào)；另一部分光束將沿原光路返回到激光器中，這部分光將對(duì)激光器的正常工作產(chǎn)生影響，對(duì)激光管的輸出引起不穩(wěn)定干擾。此外，對(duì)于長(zhǎng)距離的測(cè)量，干涉儀測(cè)量臂的移動(dòng)由于受到導(dǎo)軌精度或干涉儀本身受到外界振動(dòng)等因素的影響，都會(huì)引起測(cè)量反射鏡的方向和位置的偏移，從而影響到干涉信號(hào)的變化，產(chǎn)生測(cè)量誤差。另外，還有一個(gè)重要的因素，就是測(cè)量系統(tǒng)必須能對(duì)正向位移和反向位移進(jìn)行方向判別，以進(jìn)行可逆計(jì)數(shù)。因此，在光路和電路設(shè)計(jì)中，必須考慮把測(cè)量的位移方向鑒別出來(lái)。基于以上幾點(diǎn)考慮，下面介紹實(shí)際的激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)光路設(shè)計(jì)、干涉信號(hào)的方向判別與計(jì)數(shù)和干涉信號(hào)的移相技術(shù)等。