激光干涉測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)組成

   圖7-2所示為激光干涉測(cè)長(zhǎng)的基本原理框圖，它是以激光的波長(zhǎng)為基準(zhǔn)對(duì)各種長(zhǎng)度量進(jìn)行精密測(cè)量，AD515JH主要有以下幾部分組成。

   (1)激光光源。一般采用單模穩(wěn)頻氦一氖氣體激光器，使用輸出波長(zhǎng)為A=0.6328}im的紅光。這種激光器相干長(zhǎng)度可達(dá)到300km。

   (2)干涉儀。是基于邁克爾遜干涉的原理，被測(cè)長(zhǎng)度位移量通過(guò)干涉儀的移動(dòng)臂引入，對(duì)光波的相位進(jìn)行調(diào)制，再白干涉儀中兩臂光波的干涉實(shí)現(xiàn)對(duì)位移量的解調(diào)。

   (3)光電顯微鏡。用于給出被測(cè)長(zhǎng)度量的起始和結(jié)束位置，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度或位移的精密瞄準(zhǔn)，使干涉儀的干涉信號(hào)處理部分和被測(cè)量之間實(shí)現(xiàn)同步。

   (4)干涉信號(hào)接收和處理部分。主要包括接收干涉信號(hào)的光電檢測(cè)器、信號(hào)放大、判向、細(xì)分以及可逆計(jì)數(shù)和顯示記錄等。